變形鏡
| 波長范圍 | 122nm-10.6um |
| 有效直徑 | 10-600mm |
| 電極/激勵器數(shù) | 600 |
| 行程 | 40um |
| 頻率 | 1kHz |
| 損傷閾值 | 50kW/cm2 或 20J/cm2 |
| 澤尼克系數(shù) | 24 |
波前傳感器
| 波長范圍 | 122nm-10.6um |
| 有效直徑 | 4-600mm |
| 微透鏡直徑 | 低至150um |
| 靈敏度 | Lambda/150 rms |
| 動態(tài)范圍 | 50 Lambda |
| 頻率 | 2kHz |
| 軟件 | 實時顯示哈特曼和波前分析、澤尼克多項式、2D/3D條紋圖、相位圖、光強圖、M2、PSF、波前P-V和RMS |
哈特曼計
哈特曼計用于測量光學(xué)表面平整度，可取代菲佐干涉儀，具有同樣的性能。通過一束激光照射到測量表面，然后用夏克-哈特曼波前傳感器測量反射回的波前。
主要特點是實時測量，對振動不敏感。
| 波長范圍 | 122nm-10.6um |
| 可測口徑 | 沒有限制（擴束鏡） |
| 可測曲率半徑 | 沒有限制（補償光器件） |
| 準確度 | Lambda/30 rms |
| 橫向分辨率 | 孔徑的2/100 |
| 軟件 | 實時顯示哈特曼和波前分析、澤尼克多項式、2D/3D條紋圖、相位圖、光強圖、M2、PSF、波前P-V和RMS |
自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)
自適應(yīng)光學(xué)閉循環(huán)系統(tǒng)由變形鏡、波前傳感器及軟件組成，可用于高功率激光、同步輻射光束、天文望遠鏡、生物顯微鏡等。
軟件實時顯示哈特曼和波前分析、澤尼克多項式、2D/3D條紋圖、相位圖、光強圖、M2、PSF、波前P-V和RMS；實時參數(shù)監(jiān)控；實時顯示鏡片上電壓；測量鏡片電極反應(yīng)函數(shù)等
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