GSL-1100X-8.5-S 是一款爐管外徑為 8.5" 的真空管式爐 , 它可以在6“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) |
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工作電壓 | AC 220V |
功率 | 8KW |
爐管規(guī)格 |
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加熱元件 | NiCrAl 電阻絲 |
工作溫度 |
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加熱區(qū) |
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控溫儀 |
可選: PC接口和軟件 |
密封法蘭和進氣接口 |
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產(chǎn)品尺寸 |
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凈重 | 250Kg |
保修期 | 整機保修一年,相關(guān)耗材除外。(如密封圈、爐管等) |
Certificate |
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