FF-1600 復合分子泵
產品外觀 |
產品簡介 |
FF型復合分子泵廣泛地應用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質譜儀;真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產、半導體制造業(yè)、等離子刻蝕等領域。
性能特點 |
- 1.高極限真空
- 的整體加工轉子,可運轉于更高的工作轉速,提高了泵的極限真空。
- 2.大抽速
- 復合分子泵是由渦輪級和牽引級復合而成,從而提高了泵的抽速。
- 3.高壓縮比
- 轉子的螺旋槽式牽引級使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力。
- 4低噪音
- 采用高精度球軸承,動平衡好,對軸承的磨損小,軸承壽命長,整機振動小,噪音低。
- 5.清潔無油
- 分子泵是靠動葉片和定葉片的相對運動抽除、拖動、傳輸氣體分子排出,因此可獲得清潔無油的高真空和超高真空。
- 6.節(jié)能
- 由于整體轉子比分體轉子輕,因此電機負載小,消耗功率小,可以運行更高的轉速。
用途 |
主機 | |
進氣口通徑 | DN250mm |
排氣口通徑 | KF40mm |
抽氣速率 | 1600L/s |
極限壓強 | 5×10-7Pa (金屬密封) 5×10-6Pa (橡膠密封) |
相關參數 |