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特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)

參考價(jià)	面議

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海晶禾電子科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/1/27 9:54:24
訪問(wèn)次數(shù)381

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　　上海晶禾電子科技有限公司立足于中國(guó)新興的高科技產(chǎn)業(yè)，依靠專業(yè)的服務(wù)精神和對(duì)創(chuàng)新技術(shù)的執(zhí)著追求，晶禾公司準(zhǔn)備成為產(chǎn)業(yè)成長(zhǎng)的助推者。提供技術(shù)咨詢、方案設(shè)計(jì)、材料和設(shè)備供應(yīng)、系統(tǒng)安裝和測(cè)試等服務(wù)，為客戶實(shí)現(xiàn)了工程項(xiàng)目的一站式服務(wù)模式，使我們能夠?yàn)榭蛻籼峁└咝詢r(jià)比和高效率。上海晶禾電子科技公司服務(wù)對(duì)象為微電子、半導(dǎo)體、平板顯示、光纖、新型材料、太陽(yáng)能電池以及其他高科技產(chǎn)業(yè)，提供超高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)的解決方案。

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特氣系統(tǒng)主要包括氣源供應(yīng)(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過(guò)程控制(PLC自動(dòng)控制器)、以及氣體泄漏偵測(cè)、尾氣處理等主要模塊

特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

特氣系統(tǒng)主要包括氣源供應(yīng)(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過(guò)程控制(PLC自動(dòng)控制器)、以及氣體泄漏偵測(cè)、尾氣處理等主要模塊。

對(duì)于特殊氣體來(lái)講，氣體品種多，有毒有害氣體多，針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet) 內(nèi)，再通過(guò)管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥箱 (VMB, Valve Manifold Box) ，而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn) (POU, Point of Use) ，于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前，會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤 (GB, Gas Box) 與制程控制模塊聯(lián)機(jī)，以質(zhì)流控制器 (MFC, Mass Flow Controller) 進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，一般的惰性氣體則是以開(kāi)放式的氣瓶架 (Gas Rack) 與閥盤 (VMP, Valve Manifold Panel) 進(jìn)行供應(yīng)。