儀器介紹:
HG-ZKG系列陶瓷纖維管式爐設(shè)計用于1100℃或1700℃以下CVD工藝。采用開啟式設(shè)計,方便樣品操作及爐管更換。高純電阻絲內(nèi)嵌在輕質(zhì)陶瓷纖維材料中,周邊拓展系統(tǒng)齊全,適合高校、科研院所實驗之使用。
儀器特點:
u溫度1100℃、1700℃。
u分體式設(shè)計,降溫速率快。
u工作管徑范圍φ30mm、φ40mm、φ50mm、φ60mm、φ80mm、φ100mm。
u高純氣煉石英管或者高純陶瓷管。
u輕質(zhì)陶瓷纖維隔熱材料,耐熱沖擊性好,蓄熱低。
u快速升溫,升溫速率可達10℃。
u半導體繼電器控制加熱元器件,控溫精確,壽命長,無噪音。
u多段程序控溫,PID調(diào)節(jié),可編制多種升降溫程序。
u超溫保護功能,超溫自動斷電。
可選配置:
u真空泵
u多區(qū)控溫,兩溫區(qū)YMG(2)系列或三溫區(qū)YMG(3)系列(如下圖)
u瑞典kanthal 電熱絲
u數(shù)顯真空計(高精度顯示真空值)
u多路氣氛混氣系統(tǒng)(浮子流量計或質(zhì)量流量計)
u無紙紀錄儀(帶通訊端口)
技術(shù)參數(shù):