超純水設(shè)備

超純水設(shè)備簡述

超純水是指純度的水。集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。超純水：既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。 　　超純水,是一般工藝很難達到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm 　　超純水是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)出來的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細菌、含氯二惡英等有機物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，一般不可直接飲用，對身體有害，會析出人體中很多離子。生產(chǎn)超純水工藝流程 1.預(yù)處理----復(fù)床 ----混床---拋光樹脂 　　 2.預(yù)處理----反滲透---混床---拋光樹脂 　　 3.預(yù)處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹脂中國國家實驗室分析用水標(biāo)準(zhǔn)中國國家實驗室分析用水標(biāo)準(zhǔn)（GB6682-92）《分析實驗室用水規(guī)格和實驗方法》： 　　指標(biāo)名稱 一級水 二級水 三級水 　　 1級水>10MΩ；2級水>1MΩ；3級水>0.2MΩ 　　 PH值范圍（25℃） - - - - 5.0-7.5 　　比電阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2 　　電導(dǎo)率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5 　　可氧化物[以O(shè)計]mg/L -- 0.08 0.40 　　吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 -- 　　二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 -- 　　蒸發(fā)殘渣（mg/L） -- 1.0 2.0 　　純水，高純水，超純水的區(qū)別純水　　 純水是指既將水中易去除的強電介質(zhì)去除，又將水中難以除去的硅 OKP超純水酸及二氧化碳等弱電解質(zhì)去除至一定程度的水。純水的含鹽量在1.0mg/L以下,電導(dǎo)率小于50μs/cm。高純水　　 高純水是指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機物均去除至很低程度的水。高純水的含鹽量在0. 3mg/L以下,電導(dǎo)率小于0. 2μs/cm。超純水　　超純水是指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機物均去除至很低程度的水。純度的水。集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。超純水是指下列雜質(zhì)含量極低的水： ① 無機電離雜質(zhì),如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe、Mn、Al、HCO婣、CO婣、SO嬄、Cl、NO娛、NO婣、SiO婣、PO等； ② 有機物,如烷基苯磺酸、油、有機鐵、有機鋁以及其他碳氫化合物等； ③ 顆粒,如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等； ④ 微生物,如細菌、浮游生物和藻類等; ⑤ 溶解氣體, 如N2、O2、CO2、H2S等。超純水中電離雜質(zhì)的含量用水的電阻率數(shù)值來衡量。理論上,純水中只有H離子和OH離子參加導(dǎo)電。在25℃時超純水的電阻率為 18.3(兆歐·厘米)，一般約為15～18（兆歐·厘米）?！　〕兯杏袡C物含量由測定有機物碳含量而定，電子工業(yè)超純水中規(guī)定含量為50～200微克／升,并要求直徑大于1微米的顆粒性物質(zhì)每1毫升內(nèi)含量為1～2個，微生物每1毫升為0～10個?，F(xiàn)代采用預(yù)處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過濾技術(shù)等，使超純水的電阻率在25℃時達到18(兆歐·厘米)?！　∫栏鞣N原水水質(zhì)和用戶要求的不同，超純水的制備工藝大體可分為預(yù) 超純水處理、脫鹽和精處理三步。 　　預(yù)處理 包括砂濾、多介質(zhì)過濾、軟化、加氯、調(diào)節(jié)pH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去 1～20微米大小的顆粒，軟化和調(diào)節(jié)pH可防止反滲透膜結(jié)垢，加氯是殺菌?；钚蕴歼^濾是除去有機物和自由氯，脫氣是清除溶于水中的CO2等。 　　脫鹽 包括電滲析、反滲透、離子交換。電滲析的原理是在外加直流電場作用下利用陽離子和陰離子交換膜對離子選擇性透過，脫鹽率可達95％以上。反滲透是滲透現(xiàn)象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側(cè)通過半透膜向稀溶液一側(cè)反向滲透，脫鹽可達98％，并能除去99％的細菌顆粒和溶解在水中的有機物。離子交換的原理是當(dāng)水通過陽離子交換樹脂時，水中的陽離子被陽離子交換樹脂吸附，樹脂上可交換的陽離子如H離子被置換到水中，并和水中的陰離子結(jié)合成相應(yīng)的無機酸，如超純水這種含有無機酸的水，當(dāng)下一步通過陰離子交換樹脂層時，水中的陰離子被陰離子交換樹脂吸附。樹脂上可交換的陰離子如OH離子被置換到水中,并與水中的H離子結(jié)合成水，即超純水精處理包括紫外線殺菌、終端膜過濾和超濾。紫外線殺菌是因生物體的核酸吸收紫外線光的能量而改變核酸自身結(jié)構(gòu),破壞核酸功能而使細菌死亡。殺菌的光譜波長為2600埃。各種膜過濾能除掉直徑大于 0.2微米的顆粒，但對于清除有機物則不如反滲透和超濾有效。超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過程中，水在壓力下流過一個卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10～200埃范圍內(nèi),薄膜厚度為0.1～0.5微米,附在一個中孔的纖維棒內(nèi)壁上，超濾能除去細菌和0.05微米的粒子