INFICON BPG400 B-A型皮拉尼真空計(jì) 353-502
INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì), BPG400, 兩個(gè)真空計(jì)復(fù)合在一個(gè)小型單元中測(cè)量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓). 復(fù)合技術(shù)降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性. 選 BPG400 用于可及的和可再現(xiàn)的過(guò)程, 在一個(gè)經(jīng)濟(jì)的真空計(jì)組件中執(zhí)行基本的壓強(qiáng)測(cè)量.
優(yōu)勢(shì):
極寬的測(cè)量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓)
過(guò)程壓強(qiáng)范圍從 10-8 … 10-2 毫巴,再現(xiàn)性 5%
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) B-A型系統(tǒng)防止燈絲過(guò)早燒毀和來(lái)自高壓強(qiáng)運(yùn)行的過(guò)度污染
長(zhǎng)壽命的涂敷氧化釔的銥燈絲
可選圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整減少操作人員的干預(yù)
RoHS 兼容性
用途:
在半導(dǎo)體過(guò)程和傳送室中的壓強(qiáng)測(cè)量
工業(yè)鍍膜
在低至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | BPG400 | BPG402-S | BCG450 |
測(cè)量范圍 | 5 × 10E-10至1000 mabr | 5 × 10E-10至1500 mabr | |
精度(N2) | ±15%讀數(shù) | ±15%讀數(shù) | |
重復(fù)性 | ±5%讀數(shù) | ||
除氣 | 電子轟擊,至多3分鐘 | ||
輸出信號(hào) | 電壓范圍:0至+10V模擬;可選RS485,Profibus-DP,DevicenNet | ||
電源電壓 | +20至+28Vdc | ||
電氣連接件 | D-sub 15針;Profibus-DP/RS485(D-sub 9針+15針);DeviceNet標(biāo)準(zhǔn)接頭 | ||
工作溫度 | +0至+50℃ | ||
烘烤溫度(未工作) |
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防護(hù)等級(jí) | IP30 |
訂貨號(hào):
BPG400 B-A型皮拉尼真空計(jì) DN 40 CF-R 353-502