百級潔凈氮氣柜

百級潔凈氮氣柜產(chǎn)品應(yīng)用：

適合半導(dǎo)體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象；由于大部分的存儲柜或者是氮氣柜設(shè)計都為全封閉環(huán)境，只控制濕度及氧含量濃度這塊，并無自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。松鑫潔凈柜則適合存放需要低濕保存，同時又需要避免灰塵污染的物品.

相關(guān)技術(shù)指標(biāo)： 

1）潔凈等級

專業(yè)高效潔凈過濾裝置，材質(zhì)采用進口PTFE,確保潔凈柜內(nèi)CLASS 10~100級/1000級（10級一般是指空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒情況下，必潔淨(jìng)度能逹到須滿足每立方英尺內(nèi)顆粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。   

2）TDH實驗

即存放在潔凈柜內(nèi)經(jīng)過干燥2小時的硅片不能有不正?；虺瑯?biāo)返顆粒的現(xiàn)象產(chǎn)生(返顆粒取樣測試后總數(shù)平均數(shù)與原有硅片顆粒數(shù)對比≦10ea (包括0.2um及0.3um))   

3）降濕速度

除濕性能可達到5%以下,空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒，在氮氣流量不大于70L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時間不大于30min；

4) 進口無塵風(fēng)機：采用進口無塵室專用FFU風(fēng)機，面風(fēng)速：0.3～0.45m/s；

5）靜電殘余值測定松鑫全功能潔凈氮氣柜（選配）

潔凈氮氣柜內(nèi)放置的硅片盒，經(jīng)過干燥2小時后，硅片盒取樣及定點測試靜電值必須≦1kv

6）柜內(nèi)風(fēng)速均勻性

潔凈柜內(nèi)有氮氣的，可使用風(fēng)速測定儀來檢測內(nèi)部硅片放置各點的風(fēng)速，不能有較大差異。

7）溫濕度顯示及記錄管理。

溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達30米；

溫濕度顯示監(jiān)控: 可對溫濕度作24小時不間斷的監(jiān)控，在潔凈柜在*關(guān)閉的情況下，濕度不能有超過±5%RH的波動。

百級潔凈氮氣柜主要特點：

一、規(guī)格尺寸:W1300*D800*H1985mm(也可提供訂制)

1、材質(zhì)：SUS304雙鏡面

2、工作電壓：220V

3、溫濕度顯示器精度：相對濕度±3%Rh，溫度±1℃ 

二、主要特色

RSD-COL-4M系列是集快速降濕、除塵、氮氣節(jié)約功能于一體的無塵室儲存設(shè)備。

潔凈氮氣柜產(chǎn)品說明：

*控制方式：采用濕度/氧含量控制的方法。

*高潔凈過濾器FFU采用美國等進口品牌。

**離心風(fēng)機采用德國等進口品牌。

*采用高品質(zhì)靜電消除裝置。

*對氮氣進行前期潔凈預(yù)處理。

*采用雙數(shù)顯式控制器，對箱內(nèi)濕度或含氧量進行顯示和控制（二選一）。設(shè)備具有很好的密封性能，塵埃過濾，水平或垂直送風(fēng)。

*設(shè)備可由濕度和氮濃度檢測顯示,氮氣流量控制,高潔凈過濾器受阻等多個系統(tǒng).

*控制儀可選配置進行溫濕度含氮量數(shù)據(jù)的實時顯示,存儲和輸出和報警功能。

不銹鋼潔凈型有四項主要特色：

1、模組化設(shè)計：本機器采用的模組化設(shè)計，溫濕度顯示器、控制系統(tǒng)、除塵系統(tǒng)及除靜電系統(tǒng)均能快速更換，保養(yǎng)及維修簡便，大大提升維護效率。

2、彈性設(shè)計：整臺設(shè)備現(xiàn)有除濕、除塵、防靜電、氮氣節(jié)約、數(shù)據(jù)收集和聲光警報功能均可依據(jù)客戶需求配置。

3、簡易的操作：在完成濕度目標(biāo)值設(shè)定后，RSD-COL系列各功能獨立性強，開關(guān)按鍵設(shè)置簡潔明了，操作人員可快速掌握其操作方法。

4、安全性設(shè)計：內(nèi)置雙重抗干擾設(shè)計，可有效解決相鄰高壓設(shè)備帶來的干擾和因操作不當(dāng)導(dǎo)致的電器部件損毀問題。

*型號RSD-COL-4M潔凈氮氣柜/不銹鋼潔凈氮氣柜/十級潔凈氮氣柜/100級潔凈氮氣柜標(biāo)準(zhǔn)。

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