MX61A是一款專門設(shè)計的半導體顯微鏡,大尺寸檢查顯微鏡,全自動顯微鏡,MX61A顯微鏡可使操作人員以正確的人體工程學姿勢進行操作,有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測,保證了工作的效率和產(chǎn)品一體化。
始終提供觀察影像的光學系統(tǒng)
提供擴展性的解決方案
實現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化
幫助實現(xiàn)多種觀察的附件
全自動半導體檢查顯微鏡 MX61A 規(guī)格 | |||
光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)(無限遠校正) | ||
機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射 | ||
照明裝置 | 機身一體型(明視場、暗視場+1選件) | ||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | - | ||
對焦單元 | 電動/手動 | 電動 | |
行程 | 25.4 mm | ||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 分辨率0.01 μm | ||
樣本高度 | 24 mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | |
明暗視場微分干涉5孔 | |||
明暗視場微分干涉6孔 | |||
明暗視場微分干涉中心補正5孔 | |||
手動式 | - | ||
載物臺 | 行程 | 14×12英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm | |
觀察筒 | 廣角視場(視場數(shù)22) | 倒置 | - |
正像 | - | ||
超寬視場(視場數(shù)26.5) | 倒置 | - | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | 自動調(diào)焦/DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載 | ||
外形尺寸 | 711(W)×853(D)×552(H)mm(標準組合) | ||
重量 | 56 kg(標準組合) |