超低溫氣體制冷機(jī)閉環(huán)制冷系統(tǒng) GC60
設(shè)計用于將干燥氣體(如氮氣,氬氣或空氣)從環(huán)境溫度冷 卻到低溫,而無需預(yù)冷。氣體是非循環(huán)的。
超低溫氣體制冷機(jī)閉環(huán)制冷系統(tǒng) GC60
氣體制冷機(jī)使用制冷級聯(lián)技術(shù),以實現(xiàn)低溫和超低溫冷卻氣體冷卻工藝,無需使用液氮和干 冰的消耗性冷卻劑,降低了成本、風(fēng)險;是氣體制冷應(yīng)用非常具有成本效益的系統(tǒng)。ThermoTST GC80 是高度 可靠的制程氣體制冷系統(tǒng),廣泛用于航空航天,汽車,國防,半導(dǎo)體和其他行業(yè)。
特征:
結(jié)構(gòu)緊湊,移動式設(shè)計
觸摸屏操作,人機(jī)交互界面
不需要液氮 LN2,干冰
出口氣體流量可自行設(shè)定
集成式氣體干燥器,無需外置(壓縮空氣配置選項,小于 24SCFM 的系統(tǒng))
單級壓縮機(jī),節(jié)能環(huán)保,性能可靠
風(fēng)冷或水冷機(jī)型可選
專有制冷劑,符合環(huán)境氣候協(xié)議
應(yīng)用:
電子產(chǎn)品的低溫性能驗證
半導(dǎo)體加工部件冷卻
晶圓卡盤的低溫冷卻
真空腔室的冷氣體充注
流變學(xué)研究
材料的低溫表征實驗
技術(shù)規(guī)格:
型號 | GC25 | GC60 | GC80 | GC80H |
溫度 | ≤ -25℃ | ≤ -60℃ | ≤ -80℃ | ≤ -80℃ |
流量范圍*1 | 3 ~ 10SCFM(1.4L/s ~ 4.7L/s) | 4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s) | 4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s) | 5 ~24 SCFM(1.9 L/s ~ 11.3L/s) |
供氣流量 | 8 至 15 SCFM (3.8 至 7.0 L/s) | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s) | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s) | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s) |
性能*2 | ≤-25°C,制冷機(jī)輸出10SCFM | ≤-60°C,制冷機(jī)輸出18SCFM | ≤-80°C,制冷機(jī)輸出18SCFM | ≤-80°C,制冷機(jī)輸出22SCFM |
預(yù)冷時間 | ≤ 10min | ≤ 20min | ≤ 20min | ≤ 20min |
操作界面 | 高清彩色觸摸屏,7 TFT | 高清彩色觸摸屏,7 TFT | 高清彩色觸摸屏,7 TFT | 高清彩色觸摸屏,7 TFT |
系統(tǒng)語言 | 中文/英文 | 中文/英文 | 中文/英文 | 中文/英文 |
進(jìn)/出氣接口 | 1/4”Rc Female 3/8”Rc Female | 1/2”Rc Female 1/2”Rc Female | 1/2”Rc Female 1/2”Rc Female | 1/2”Rc Female 3/4”Rc Female |
通訊接口 | RS232,LAN | RS232,LAN | RS232,LAN | RS232,LAN |
制冷劑 | 專有環(huán)保型制冷劑 | 專有環(huán)保型制冷劑 | 專有環(huán)保型制冷劑 | 專有環(huán)保型制冷劑 |
噪音 | ≤ 52dBA | ≤ 65dBA | ≤ 65dBA | ≤ 69dBA |
氣源要求 | ||||
氣體*3 | 各種干燥氣體(如:氮氣,氬氣,氧氣等)或潔凈的壓縮空氣 | |||
氣體潔凈度 | 油分子:≤ 0.01ppm,過濾至0.1um的油霧/粉塵污染物 | |||
進(jìn)氣溫度 | +5°C至+25°C | |||
CDA時壓力露點 | < 10℃ @0.62Mpa(90PSI) | |||
CDA時進(jìn)氣壓力*4 | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);標(biāo)準(zhǔn)25SCFM(11.8L/S) | |||
工作環(huán)境要求 | ||||
溫度 | +10℃至+ 25℃ | |||
相對濕度 | 25%至65% |