冷陰極電離真空規(guī)
INFICON冷陰極電離真空規(guī)MAG470,測(cè)量范圍為5 × 10-11mbar到1 × 10-2mbar
(3.8 × 10 -11 Torr 到 7.5 × 10 -3 Torr)。
優(yōu)勢(shì)
· 沒(méi)有燒壞的燈絲
· 加長(zhǎng)版,傳感器輸出溫度可達(dá)250℃
· 優(yōu)異的點(diǎn)火性能
· 易清洗
· 金屬密封通道
· LED高電壓指示燈
· 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
應(yīng)用
· 超高真空壓力監(jiān)測(cè)
· 蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的基本壓力
· 中高真空范圍內(nèi)的通用真空測(cè)量與控制
規(guī)格
MAG470 MAGA470擴(kuò)展 | ||
測(cè)量范圍(空氣,氮?dú)?/span>) | mbar (Torr) | 5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3) |
精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar | % | ≈±30% |
重復(fù)性1×10 -9…1×10 -3mbar | % | ≈±5% |
安裝方位 | 不限 | |
容許壓力 | Bar | ≤10(限于惰性氣體) |
容許溫度 |
℃ |
+5 … +55 |
電源電壓 |
V (dc) |
+15…+30 |
耗電量 | W | ≤2 |
保險(xiǎn)絲連接 | AT | ≤1 |
輸出信號(hào)(測(cè)量信號(hào)) |
V |
0…+10.5 |
相對(duì)壓力 |
V | 對(duì)數(shù), 0.8 V/decade |
輸出電阻 | Ω | 2 × 10 |
響應(yīng)時(shí)間 |
MS |
<10 |
識(shí)別量規(guī) | KΩ | 7.15,供參考使用 |
電氣連接 |
M | FCC 68電器連接器,8極,內(nèi)螺紋 |
工作電壓 | kV | ≤3.3 |
暴露于真空中的材料 | 不銹鋼,氧化鋁,銀, | |
內(nèi)部容積 | cm3 | ≈20 |
重量 |
g |
≈950≈1100 |
保護(hù)類(lèi)別 | IP 40 | |
標(biāo)準(zhǔn) | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |