型號(hào) | VX3030 | VX3100 | VX3200 | |
圖像傳感器 | 500萬(wàn)像素CMOS | |||
顯示器 | 機(jī)身顯示器 | 10.4英寸 LCD顯示器(XGA:1024×768) | ||
外接顯示器 | 24英寸 LCD顯示器(XGA:1920×1080) | |||
受光鏡頭 | 雙遠(yuǎn)心鏡頭 | |||
照明系統(tǒng) | 落射系統(tǒng) | 四分割照明(白光) | ||
透射系統(tǒng) | 遠(yuǎn)心透過照明(綠色) | |||
視野mm | 20×L120 | Φ100×L200 | 200×200 (4角R50) | |
重復(fù)精度μm | ±1μm | ±2μm | ||
測(cè)量精度μm | 無拼接*1 | ±2μm | ±5μm | |
有拼接*2 | ±(4+0.02L) μm | ±(7+0.02L)μm | ||
測(cè)量軟件 | VisionX | |||
顯示分辨率 | 0.1μm | |||
支持觸發(fā)測(cè)頭 | 不支持 | 支持 | ||
XY電動(dòng)座標(biāo)臺(tái) | X移動(dòng)范圍 | 100mm | ||
Y移動(dòng)范圍 | ———————————— | 100mm | ||
承重 | 2kg | 2kg | 5kg | |
Z向移動(dòng)范圍 | 35mm(電動(dòng)) | 75mm(電動(dòng)) | ||
外形尺寸(L×W×H) mm | 500×260×635 | 500×260×635 | 500×325×700 | |
重量 | 30kg | 31kg | 40kg | |
工作電源 | AC220V/50Hz | |||
工作環(huán)境 | 溫度10℃~35℃,濕度30~80%,振動(dòng)<0.002g,低于15Hz |