徠卡高真空鍍膜儀 Leica EM ACE600
Leica EM ACE600 是一款高真空鍍膜儀,真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度可達2×10-6mbar。鍍膜細膩均勻。內置石英膜厚檢測器,可精確控制鍍膜厚度。全自動電腦控制,自動完成抽真空,鍍膜,放氣...
Leica EM ACE600 是一款高真空鍍膜儀,真空泵采用隔膜泵和渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度可達2×10-6mbar。鍍膜細膩均勻。內置石英膜厚檢測器,可精確控制鍍膜厚度。全自動電腦控制,自動完成抽真空,鍍膜,放氣等全過程,一鍵操作。采用當下的觸摸屏控制,簡單方便。儀器可選離子濺射鍍金屬膜,滿足高分辨場發(fā)射掃描電鏡(FESEM)需求??蛇x碳絲蒸發(fā)鍍碳膜,用于X-射線能譜及波譜分析,或者TEM銅網鍍碳膜。還可以選擇電子束蒸發(fā)方式鍍膜,獲得極其細膩的金屬膜與碳膜,可用于DNA投影等特殊用途。
主要技術參數(shù):
? 可任選離子濺射模式,碳絲蒸發(fā)鍍碳模式,碳棒(熱阻)蒸發(fā)模式,電子束蒸發(fā)模式,雙濺射模式,濺射-碳絲模式,濺射-碳棒模式,濺
射-電子束模式,雙電子束模式,可兼容EM VCT100冷凍傳輸系統(tǒng),可選輝光放電(用于網格表面親水化)? 設計脈沖式碳絲蒸發(fā)方式,可精確控制碳膜厚度
? 內置石英膜厚檢測器,精確控制鍍膜厚度,精度達0.1nm
? 全自動程序控制,自動完成抽真空,鍍膜,放氣等過程? 觸摸屏控制,簡單方便
? 采用隔膜泵+渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度2×10-6mbar
? 濺射電流:0-150mA可調
? 方形樣品倉設計,樣品倉尺寸:200mm(寬)×150mm(深)×195mm(高)
? 樣品臺內置旋轉,工作距離調節(jié)范圍:30mm-100mm