??????LEXT OLS4100激光工聚焦顯微鏡

LEXT OLS4100是一款激光掃描顯微鏡，通過非接觸的方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量。分辨率達10nm，可以方便快捷地獲取影像，同時配備豐富的測量功能。

的測量       

更大的樣品范圍       

輕松檢測85° 尖銳角       

有尖銳角的樣品（剃刀）

采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學系統(tǒng)（能限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。                   

LEXT 專用物鏡

使用專用物鏡時的最小象差

   高度分辨率10 nm，輕松測量微小輪廓       

(MPLAPON50XLEXT)                       
高度差標準 類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度測量中的檢測

由于采用405 nm 的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4100 達到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對樣品的表面進行亞微米的測量。結(jié)合高精度的0.8nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開創(chuàng)的I-Z 曲線（請參閱第23 頁），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。                   

克服反射率的差異       

鉆石電鍍工具                        
物鏡：MPLAPON50XLEXT

OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。                   

適用于透明層       

多層模式
LEXT OLS4100            全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點，這樣即可實現(xiàn)對透明樣品上表面的觀察和測量，而且也可以對多層樣品的各層進行分析和厚度測量。           

觀察／測量透明材料的各個層
多層模式可實現(xiàn)對透明樣品的頂部的透明層進行觀察和測量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層，也可測量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。           

工業(yè)領(lǐng)域* 的兩項性能保證       

  正確性和重復(fù)性       

通常表示測量儀器的測量精度的，有2 個指標："正確性"，即測量值與真正值的接近程度，和"重復(fù)性"，即多次測量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界同時保證了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡。                   

追溯體系       

OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成，并按照一系列嚴格的標準進行全面的檢驗并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠。交付產(chǎn)品時，由選拔出來的技術(shù)人員，在實際使用環(huán)境中執(zhí)行校正和最后的調(diào)整。                   

更多的測量類型       

OLYMPUS Stream (選購件)       

工作流程解決方案，實現(xiàn)了優(yōu)秀的圖像分析

對于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級別的測量，可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件，該軟件可以從OLS4100 直接上傳。       

更精準的粗糙度測量       

LEXT OLS4100 參數(shù)       

 作為表面粗糙度測量的新標準，奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4100。對LEXT OLS4100 進行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，并在LEXT OLS4100            上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度專用模式，可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離最長為100            mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測量儀相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測量結(jié)果。       

適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）參數(shù)。通過評估平面區(qū)域，可以進行高可靠性的分析。       

? LEXT OLS4100 與表面粗糙度測量儀的結(jié)果相兼容。           

微細粗糙度       

  使用接觸式表面粗糙度測量儀，無法測量比探針的針尖直徑更細微的表面輪廓。而OLS4100有著微小的激光光斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓毿螤钸M行高分辨率的粗糙度測量。           

非接觸式測量                       

使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會粘在探針上，無法得到正確的測量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會影響樣品的表面狀態(tài)，可以準確的測量樣品的表面粗糙度。                   

高分子薄膜3D 影像（上）和粗糙度測量結(jié)果（左）

柔軟的樣品

帶有粘性的樣品

微米級特征的測量       

使用接觸式表面粗糙度測量儀，其探針無法進入微米級的區(qū)域，所以不能對這些區(qū)域的特征進行測量。而OLS4100可以正確定位，能輕松測量出特定微小區(qū)域的粗糙度。       

焊線

高畫質(zhì)影像       

清晰鮮明的3D 彩色影像       

 三種類型的綜合影像       

更加真實地再現(xiàn)表面, 激光DIC（激光微分干涉）       

微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對比，從而實現(xiàn)對微小凹凸的立體觀察。LEXTOLS4100            擁有DIC 激光模式，即使是低倍率的動態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。       

亮度和對比度之間更加優(yōu)化的平衡, HDR（高動態(tài)范圍）影像       

OLS4100 的高動態(tài)范圍（HDR）功能結(jié)合了多張以不同曝光率獲取的光學顯微鏡影像，并且分別控制著亮度、對比度、紋理和飽和度，因此HDR            可以以寬動態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對紋理不明顯的樣品的彩色影像進行清晰地觀察。       

無HDR 的彩色影像                        
 致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

有HDR 的彩色影像                        
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x）

算法

  穩(wěn)定測量和成像環(huán)境       

復(fù)合減震機構(gòu)

為了排除來自外部的影響，穩(wěn)定測量和成像，OLS4100機座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復(fù)合減震機構(gòu)"以穩(wěn)定操作環(huán)境。所以，可以把OLS4100放在普通的桌子進行測量作業(yè)，不需要專用的防震平臺。                   

直觀的GUI 實現(xiàn)系統(tǒng)化的工作流程       

  簡易的三步流程       

 使用LEXTOLS4100，只需將樣品放置在載物臺上之后即可立即開始觀察／測量。由于采用了簡易的三步流程——成像、測量和報表——即使用戶不熟悉激光顯微鏡，也可以快速掌握測量的流程。           

始終明白"身在何處"       

宏觀圖功能       

OLS4100 的宏觀圖功能可以以低倍率顯示大范圍影像，并在宏觀影像上顯示一個矩形觀察標記。該視場可以通過拼圖設(shè)置為傳統(tǒng)視場的441 倍。當配合電動六孔物鏡轉(zhuǎn)換器時，宏觀圖功能可以對載物臺移動和倍率更改實現(xiàn)平滑、便捷的一鍵操作?？梢跃_預(yù)設(shè)齊焦和確定物鏡的中心，并可通過一鍵移動載物臺和調(diào)整倍率進行同步。           

            快速的宏觀圖拼接       

掃描大面積區(qū)域時有兩種拼接方法可用：獲取實時影像時的手動模式和快速獲取影像時的自動模式。操作非常快速簡單——2D拼接只需一鍵操作即可開始，并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動模式下有五級拼接尺寸可用，分別為：3×3、5×5、7×7、9×9和21×21。對于影像上不需要的部分，可以使用簡單的鼠標或控制桿操作手動刪除。                   

用于簡易3D 成像的智能掃描       

自動3D 影像獲取       

傳統(tǒng)的3D 掃描需要復(fù)雜的設(shè)置，這對新手來說非常困難。LEXT OLS4100 采用了全新的智能掃描模式，即使是初次使用的用戶也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設(shè)置，系統(tǒng)也會根據(jù)要獲取的影像自動設(shè)置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶也能獲得精確的高度測量和優(yōu)質(zhì)的影像。           

3D 成像

自動亮度控制

平面上的亮度控制

一定高度范圍內(nèi)的亮度控制。

大大縮短了獲取時間

更快的掃描速度       

新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統(tǒng)快速模式的2 倍，約是精細模式的9 倍。因此，對于那些需要非常精細的Z 軸移動和*的放大倍率的樣品，該模式就非常地適用，例如對刀具的進行檢測。           

相同時間內(nèi)獲取的影像數(shù)量：

實際的掃描時間根據(jù)所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同。

只在所需區(qū)域進行高速獲取       

OLS4100 還配備了帶寬掃描模式，用于測量有限的目標區(qū)域，測量性能比傳統(tǒng)模式快1/8。       

全新的高速拼接模式      

從大范圍拼接影像中目標區(qū)域       

在宏觀圖中，要觀察的區(qū)域可以從大范圍的視圖中在自動模式中，通過設(shè)置最多625幅影像的矩形拼接尺寸，可以自動生成區(qū)域圖，所需的時間大約只需要通常的一半。下一步，在區(qū)域圖上所需的影像并立即開始觀察。           

拼接區(qū)域：方形（21×3）63 片

拼接區(qū)域：圓形（3 點）

手動所需的影像區(qū)域       

            在實時模式中，通過在屏幕上跟蹤所需的區(qū)域，可以手動選擇要觀察的區(qū)域。當觀察的樣品具有不規(guī)則的形狀時，該功能非常實用。           

快速影像拼接       

            要使用智能掃描模式獲取影像時，只需一鍵操作即可。由于智能掃描會自動調(diào)整Z 軸方向的設(shè)置，Z            軸方向的影像獲取可以僅局限在所需的區(qū)域，因此可以在進行大范圍大功率觀察時節(jié)省很多時間。       

智能掃描模式

傳統(tǒng)獲取模式

  一鍵操作定制報表       

OLS4100 在測量后可使用一鍵操作創(chuàng)建報表，而且使用編輯功能可以定制各個報表模板。將測量結(jié)果復(fù)制和粘貼到Word            或表格應(yīng)用程序也非常簡單，就像從數(shù)據(jù)庫取回所需的影像和報表一樣。           

  目標的一鍵解決方案       

            為用戶設(shè)計的詳細的向?qū)Чδ苋∠巳唛L的培訓，讓新手也能快速簡單地進行操作。