MX61A是一款專門設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體顯微鏡,可使操作人員以正確的人體工程學(xué)姿勢(shì)進(jìn)行操作,有利于操作人員在長(zhǎng)時(shí)間的工作中順利進(jìn)行檢測(cè),保證了工作的效率和產(chǎn)品一體化。
始終提供觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
強(qiáng)大的缺陷檢查能力
采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)(UIS2),特別增強(qiáng)了明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)的性能,從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力。明視場(chǎng)圖像的色溫化,實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn),暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍(與本公司原有產(chǎn)品比較)。
明視場(chǎng)觀察
新暗視場(chǎng)觀察
傳統(tǒng)的暗視場(chǎng)觀察
自動(dòng)調(diào)節(jié)亮度
亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖
對(duì)應(yīng)各種設(shè)備的實(shí)時(shí)AF
深紫外線觀察用物鏡
對(duì)應(yīng)多種觀察方法
物鏡UIS2系列產(chǎn)品
觀察方法的切換非常簡(jiǎn)單,只要從明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、選件鏡子單元三個(gè)位置選擇就可以。
明視場(chǎng)觀察
暗視場(chǎng)觀察
微分干涉觀察
熒光觀察
近紅外線觀察(左)和可見光線觀察(右)的比較
提供擴(kuò)展性的解決方案
提供擴(kuò)展性的解決方案
適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)模塊
實(shí)現(xiàn)對(duì)人和環(huán)境都沒有危害的自動(dòng)化
符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有關(guān)安全的基準(zhǔn)),S8-0705(有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn))和CE標(biāo)識(shí)(歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證)等的國際標(biāo)準(zhǔn)。符合人體工程學(xué)和安全對(duì)策等,高水準(zhǔn)的確保了可靠性。
可選的傾斜觀察筒
傾斜觀察筒示意圖
潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
6孔和5孔中心補(bǔ)正型號(hào)的明暗視場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器,采用了新型馬達(dá),實(shí)現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。
高抗振本體
高倍率觀察圖像示意圖
可以觸摸屏操作的手控開關(guān)
手控開關(guān)操作部
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件
晶圓搬送機(jī)組合
晶圓搬送機(jī)
自動(dòng)載物臺(tái)組合
自動(dòng)載物臺(tái)