立式接觸式干涉儀 JDS-1
用途
本儀器是一種采用量塊或標(biāo)準(zhǔn)零件借以高精度的比較方式的立式精密長度計(jì)量儀器。
技術(shù)規(guī)格
被測件長度 | 150 mm | |
工作臺(tái)行程 | 5 mm | |
測桿移動(dòng)范圍 | 0.5mm | |
分劃板刻度范圍 | ±50格 | |
直接測量范圍 | 5-20μm | |
分度值調(diào)整范圍 | 0.05-0.2 μm | |
推薦使用分度值 | 0.1 μm | |
測量壓力 | (1.5±0.1) N | |
儀器示值穩(wěn)定性 | 0.02 μm | |
儀器誤差 | n 是格數(shù), i是格值,λ是濾光片中心波長,△λ是濾光片波長誤差, | |
儀器體積 | 280×500×700 mm | |
儀器重量 | 40 kg | |
標(biāo)準(zhǔn)配件
| 五筋園臺(tái)、九筋瑪瑙臺(tái)、可調(diào)園平臺(tái)、輔助臺(tái)、平面測帽Ф2、小球面測帽、干涉濾光片 |