光學(xué)平晶
一、平面平晶
由玻璃或水晶制成,用來檢查光整鏡面的平面度。平面平晶的一個面是非常光整的鏡面,把它與加工鏡面相接觸,就會產(chǎn)生干涉條紋,通過對此干涉條文的測量,可以求得工件被加工鏡面的平面度。適用于塊規(guī)、千分尺、塞尺等量具的測量面的平面度檢測。規(guī)格
直徑 | 玻璃制60mm | 玻璃制130mm |
厚度 | 15mm | 27mm |
平面度 | 0.1μm | 0.1μm |
二、平行平晶
與平面平晶相似,把它與加工鏡面相接觸,就會產(chǎn)生干涉條紋,通過對此干涉條文的測量,可以求得工件被加工鏡面的平面度和平行度。平行平晶的兩面均為高精度的平整鏡面,且相互間的平行度很高,適用于檢測各種計量器具的測量工作面的平面度及平行度。規(guī)格
直徑 | 30mm |
厚度 | 12mm,12.12mm,12.25mm,12.37mm |
平面度 | 小于0.1μm |
平行度 | 小于0.2μm |