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PHI 4700 AES俄歇分析儀

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公司名稱(chēng)上海禹重實(shí)業(yè)有限公司
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更新時(shí)間2021/8/1 16:54:11
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上海禹重實(shí)業(yè)有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)禹重科技®）是一家以服務(wù)introduce中國(guó)市場(chǎng)為主的進(jìn)口儀器貿(mào)易和檢測(cè)技術(shù)服務(wù)公司，下設(shè)三個(gè)事業(yè)部和一個(gè)中心，即分析儀器事業(yè)部、實(shí)驗(yàn)室服務(wù)事業(yè)部、項(xiàng)目開(kāi)發(fā)部、以及中禹聯(lián)重檢測(cè)技術(shù)中心。目前除上海總部外，我們已建立北京、沈陽(yáng)、太原、長(zhǎng)沙、廣州、青島和成都等分支機(jī)構(gòu)。為客戶(hù)提供更專(zhuān)業(yè)、更安全、更便捷的產(chǎn)品和服務(wù)是我們禹重科技®的目標(biāo)。

禹重科技®作為T(mén)hermo Science（賽默飛）、DIONEX（戴安）、Gilson（吉爾森）和Tekmar（泰克瑪）等品牌的核心代理商，依托（香港）亞測(cè)科技有限公司（Amicrotest Technology Limited），我們將分析測(cè)試前沿技術(shù)和產(chǎn)品帶給國(guó)內(nèi)客戶(hù)，為眾多企業(yè)和高校、科研院所以及政府機(jī)構(gòu)的產(chǎn)品研發(fā)、質(zhì)量控制、合規(guī)運(yùn)營(yíng)，提供成分分析儀器、表面分析儀器、自動(dòng)化樣品前處理儀器和物理力學(xué)儀器等綜合性?xún)x器解決方案，同時(shí)提供儀器配套設(shè)備和標(biāo)準(zhǔn)樣品耗材的銷(xiāo)售，材料測(cè)試等實(shí)驗(yàn)室服務(wù)。

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成分分析儀，表面分析儀，光譜儀

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PHI 4700 AES俄歇分析儀在開(kāi)發(fā)新材料及薄膜制程上，為了有助于了解材料組成間的相互作用及解決工藝流程的問(wèn)題，材料組成或薄膜迭層的深度分析是非常重要的。

PHI 4700 AES俄歇分析儀產(chǎn)品信息

PHI 4700 AES俄歇分析儀在開(kāi)發(fā)新材料及薄膜制程上，為了有助于了解材料組成間的相互作用及解決工藝流程的問(wèn)題，材料組成或薄膜迭層的深度分析是非常重要的。
PHI 4700 AES俄歇分析儀使用了AES分析技術(shù)為基礎(chǔ)，搭配靈敏度半球型能量分析器、10 kV LaB6掃瞄式電子槍、5 kV浮動(dòng)柱狀式Ar離子槍及高精密度自動(dòng)樣品座。針對(duì)例行性的俄歇縱深分析、微區(qū)域的故障分析，提供了全自動(dòng)與及高經(jīng)濟(jì)效益的解決方法。
PHI 4700是建基于Ulvac-Phi公司的高性能PHI 700Xi俄歇掃描納米探針。它提供了高度自動(dòng)化，低成本、高效益的方案進(jìn)行例行俄歇深度分析和微米范圍的故障分析。 PHI 4700可以輕易的配備上互聯(lián)網(wǎng)的設(shè)備，以供遠(yuǎn)程操作或監(jiān)控之用。
全自動(dòng)多樣品縱深分析：PHI 4700薄膜分析儀在微小區(qū)域之縱深分析擁有的經(jīng)濟(jì)效益，可在SEM上特定微米等級(jí)之微小區(qū)域快速進(jìn)行深度分析。圖2顯示長(zhǎng)年使用的yi動(dòng)電話鍍金電極正常與變色兩個(gè)樣品之縱深分析結(jié)果，兩者材質(zhì)皆為鍍金之錫磷合金。從電極二（變色電極）可看到金屬錫擴(kuò)散到鍍金膜上，因?yàn)榻缑娴母g而產(chǎn)生氧及錫導(dǎo)致電極變色。
靈敏度半球型能量分析器：PHI 4700半球形能量分析器和高傳輸輸入透鏡可提供zui高的靈敏度和大幅縮短樣品分析時(shí)間。除此之外，具有全自動(dòng)的量測(cè)功能，此裝置可在短時(shí)間內(nèi)測(cè)量多個(gè)樣品。點(diǎn)選屏幕上軟件所顯示的樣品座，可以記錄欲量測(cè)的位置，對(duì)產(chǎn)品與工藝流程管理上之?dāng)?shù)據(jù)搜集可進(jìn)行個(gè)別分析。
10 kV LaB6掃瞄式電子槍?zhuān)篜HI的06-220電子槍是基于一個(gè)以LaB6為電子源燈絲以提供穩(wěn)定且長(zhǎng)壽命電子槍的工具，主要在氬氣濺射薄膜時(shí)進(jìn)行深度分析。06-220電子槍還可以：產(chǎn)生二次電子成像，俄歇測(cè)繪和多點(diǎn)分析。在加速電壓調(diào)節(jié)從0.2至10千伏。電子束的最小尺寸可保證小于80納米。
浮動(dòng)柱狀式Ar離子槍?zhuān)篜HI的FIG5B浮動(dòng)柱狀式Ar離子槍:提供離子由5伏到5千伏。大電流高能量離子束被用于厚膜，低能量離子束（250-500 V）用于超薄膜。浮動(dòng)柱狀式，確保高蝕刻率與低加速電壓。物理彎曲柱會(huì)阻止高能量的中性原子，從而改善了濺射坑形狀和減少對(duì)鄰近地區(qū)的濺射。
五軸電動(dòng)樣品臺(tái)和Zalar方位旋轉(zhuǎn)：PHI 15-680精密樣品臺(tái)提供5軸樣品傳送：X，Y，Z，旋轉(zhuǎn)和傾斜。所有軸都設(shè)有馬達(dá)及軟件控制，以方便就多個(gè)樣品進(jìn)行的自動(dòng)縱深分析。樣品臺(tái)提供Zalar（方位角）旋轉(zhuǎn)的縱深剖析，利用旋轉(zhuǎn)來(lái)降低樣品在一個(gè)固定位置上的擇優(yōu)濺射，以?xún)?yōu)化縱深分析。
PHI SmartSoft用戶(hù)界面：PHI SmartSoft是一個(gè)被認(rèn)同為方便用者使用的操作儀器軟件。軟件透過(guò)任務(wù)導(dǎo)向和卷標(biāo)橫跨頂部的顯示指導(dǎo)用戶(hù)從輸入樣品，定義分析點(diǎn)，并設(shè)定分析。多個(gè)分析點(diǎn)的定義和樣品的定位是由一個(gè)強(qiáng)大的“自動(dòng)Z軸定位”功能所提供。預(yù)存多樣的操作設(shè)定，可讓新手能夠快速，方便使用。
可選用配備：
熱/冷樣品座
樣品真空傳送管（Sample Transfer vessel）