測量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力,和影像測量儀的 X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能,具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、科研、汽車行業(yè)、計(jì)量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測。
1 . 良好的光學(xué)技術(shù)呈現(xiàn)出色成像
ZXCL-1300測量顯微鏡采用良好的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)搭配半復(fù)消色差物鏡,提高了成像襯度和清晰度,用戶可以得到鮮明、清晰的對比度圖像。只需簡單操作即可實(shí)現(xiàn)明暗場,偏光,微分干涉等多種成像方式。
2 . 人體工學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)舒適操作性
人體的舒適度在很大程度上主導(dǎo)了工作的進(jìn)展、效率、完成度。正晞 努力讓工具盡量適合人體的自然形態(tài),這樣在使用工具的過程中,人的身體無需主動(dòng)適應(yīng),從而減少使用工具造成的疲勞。歡迎體驗(yàn)本儀器的舒適操作。
3 . 精密的測量工具保證結(jié)果的準(zhǔn)確性
測量工具的嚴(yán)謹(jǐn)恰好體現(xiàn)了品牌的品質(zhì)。隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要。ZXCL-1300測量顯微鏡采用 0.1μm 讀數(shù)的3 軸測量系統(tǒng),利用 X、Y 軸高精度光柵尺可進(jìn)行水平方向測量,電動(dòng) Z 軸調(diào)焦可操作性強(qiáng),降低疲勞。
4 . 獨(dú)立裂像光源輔助對焦
獨(dú)立的裂像光源控制器,可根據(jù)樣品不同背景進(jìn)行光源亮度調(diào)節(jié),清晰準(zhǔn)確顯示焦面。有兩種裂像圖案可供選擇,并隨意切換。
5 . 自主研發(fā)測量軟件
ZXCL-1300測量顯微鏡配備了操作簡單,功能強(qiáng)大的測量軟件,客戶可根據(jù)需要設(shè)置測試偏好。即使對復(fù)雜的形狀,也可以進(jìn)行高精度的測量。
6 . 應(yīng)用實(shí)例
詳細(xì)參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) |
觀察頭 | 30°傾斜,正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,兩檔分光比 100/0 或 0/100 |
5° ~35°傾斜,正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,兩檔分光比 :100/0 或 0/100 | |
30°傾斜,倒像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,兩檔分光比 :100/0 或 50/50 | |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/22mm,可帶測微尺 |
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/22mm,視度可調(diào),可帶測微尺 | |
轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位 5 孔轉(zhuǎn)換器 |
內(nèi)定位明暗場 5 孔轉(zhuǎn)換器 | |
物鏡 | 無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相 DIC 物鏡(5X、10X) |
無限遠(yuǎn)超長工作距平場半復(fù)消金相 DIC 物鏡(20X) | |
無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡(50X、100X) | |
無限遠(yuǎn)長工作距平場明暗場消色差金相物鏡(5X、10X) | |
無限遠(yuǎn)超長工作距平場明暗場半復(fù)消金相 DIC 物鏡(20X) | |
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡(50X、100X) | |
放大倍率 | 光學(xué)放大倍率 :50X-1000X |
系統(tǒng)放大倍率 :135X-2700X | |
測量顯微鏡主體 | 手動(dòng)測量平臺(行程 200mm(X)×100(Y)mm,帶數(shù)顯器,帶電動(dòng)調(diào)焦控制盒;樣品高度 175mm;測量精度,X 和 Y :(2+L/200)μm,L 為測量長度(單位 mm) Z:(3+L/200)μm |
手動(dòng)測量平臺(行程 300mm(X)×200(Y)mm,帶數(shù)顯器,帶電動(dòng)調(diào)焦控制盒;樣品高度 175mm;測量精度,X 和 Y :(2+L/200)μm,L 為測量長度(單位 mm) Z:(3+L/200)μm | |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器,帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽,帶 5WLED 燈源,亮度可調(diào)(含托架適配器) |
輔助對焦模塊,帶對焦分劃板兩檔,帶綠光 5WLED 燈源組(含 100V-240V 寬電壓,5WLED 控制器) | |
調(diào)焦方式 | 電動(dòng)手輪控制調(diào)節(jié),調(diào)焦距離 175mm |
相機(jī) | 像素 130 萬 ;1280(H)×1024(V) ;幀率 :30fps ;接口 :USB2.0 ;圖像傳感器 :CMOS(彩色) |
攝影攝像接口 | 0.65XCTV、C 型接口、可調(diào)焦 |
0.5XCTV、C 型接口、可調(diào)焦 | |
PC | 聯(lián)想(ThinkCentre)一體機(jī) |
軟件 | 精密測量軟件 |
其他附件 | 起偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ;反射用干涉濾色片組 ;高精度測微尺 ;DIC 組件 ;標(biāo)定片 |