用途:
多功能測(cè)量顯微鏡采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作測(cè)量,適用于電子行業(yè),機(jī)械加工。用來(lái)測(cè)量電子線路的寬度和精細(xì)小工件的幾何尺寸,以及其它零件測(cè)量。適用于計(jì)量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門(mén)。
本儀器是無(wú)窮遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),可選配數(shù)顯測(cè)微頭。工作臺(tái)具有XY直角坐標(biāo)系和O點(diǎn)極坐標(biāo)系,玻璃工作臺(tái)可以360度旋轉(zhuǎn)。107J系列都可以進(jìn)行垂直高度的測(cè)量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外,還可作斜光線照明。
本儀器不僅可以做為測(cè)量?jī)x器使用,還可以用作不透明物體的觀察與測(cè)量.
主要技術(shù)參數(shù)
鏡筒 | 頭 部 | 三目,30?傾斜, 可通光攝影 | |
粗 動(dòng) | 立桿調(diào)節(jié)80mm,調(diào)節(jié)范圍 30mm | ||
微 動(dòng) | 0.001mm/格 | ||
高(Z軸)測(cè)量 | 10~25mm(可選) 1mm最小讀數(shù)0.001mm(干分表讀數(shù)) | ||
工作臺(tái) | 尺 寸 | 工作臺(tái)160*160mm | |
左右(X軸) | 移動(dòng)范圍50mm | ||
前后(Y軸) | 移動(dòng)范圍50mm | ||
測(cè)量分度值 | 0.5um | ||
玻璃工作臺(tái) | 360°旋轉(zhuǎn), 分度值1° | ||
手輪 | 數(shù) 顯 | XY數(shù)顯解析度0.001mm | |
普 通 | 手輪讀數(shù)0.01mm(定制0.005mm) | ||
光學(xué)系統(tǒng) | 目鏡 | WF 10X/22mm | |
無(wú)窮遠(yuǎn)平場(chǎng)長(zhǎng)工作距離物鏡 | PLL5X 工作距離:26.1mm | ||
PLL10X 工作距離:20.2mm | |||
PLL20X 工作距離:8.80 mm | |||
PLL40X 工作距離:3.68mm | |||
PLL60X 工作距離:3.18 mm (選購(gòu)) | |||
其它 | 濾色片 | 藍(lán)、綠、黃、磨砂 | |
正交偏光 | 透反射機(jī)型中配有 | ||
照明系統(tǒng) | 光源 | 透射照明 | LED光源 藍(lán)、綠濾色片 |
反射照明 | 12V50W 鹵素燈 | ||
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ |