儀器用途:
LW400JT適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產(chǎn)工藝檢查;也可以適用其它需較大面積標(biāo)本的工藝檢查。
性能特點
1、 配置大視野目鏡和長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)。
2、配置移動載物臺
3、粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu),粗動松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置,微動格值:2μm。
4、6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào)。
5、三目鏡筒,可切換正常觀察與偏光觀察,可進(jìn)行透光攝影。
主要技術(shù)參數(shù):
1、三目鏡筒:傾斜30 °,瞳距55mm-75mm,視度±5°
2、目鏡:WF10X/18mm
3、長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)
PL 5X/0.12 、PL L10X/0.25 、PL L20X/0.40
PL L40X/0.60 、PL L80X/0.8
4、總放大倍數(shù):50X-800X
5、載物臺:尺寸: 280mm×270mm,移動范圍: 204mm×204mm
6、調(diào)焦:粗微動同軸 升降范圍25mm
微動格值0.002mm
7、反射光 源:12V20W亮度可調(diào),落射照明器帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片,(黃,藍(lán),綠)濾色片和磨砂玻璃
8、正交偏光裝置
1、目鏡:WF16X/11mm,WF20X/9mm,
10X帶尺可調(diào)目鏡
2、長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)
PL L 50X/0.70、 PL L 60X/0.75 (彈簧)、 PL L 100X/0.85 (彈簧)
平場消色差物鏡(無蓋玻片): PL 100X/1.25 (彈簧,油)
3、成像系統(tǒng):數(shù)碼攝像頭500萬、800萬、1600萬相素
4、測量軟件,金相分析軟件等