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美 Microsense 大型磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)

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公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2021/7/19 20:09:40
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司，經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀，可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù)，研發(fā)設(shè)計(jì)組裝：紫外臭氧清洗機(jī)（UV清洗機(jī)），準(zhǔn)分子清洗機(jī)，等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備，擁有自主品牌及注冊(cè)商標(biāo)。同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠(chéng)信的企業(yè)文化，為廣大中國(guó)及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有：德國(guó)ParcanNano（Nano analytik）針尖光刻機(jī)，電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī)，紫外光刻機(jī)，微納3D打印機(jī)，德國(guó)Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積，英國(guó)HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，微波離子沉積機(jī)MPCVD，芬蘭Picosun原子層沉積機(jī)，電子顯微鏡, 德國(guó)Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國(guó)THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，美國(guó)Sonix超聲波顯微鏡, 德國(guó)耐馳Netzsch熱分析儀, 德國(guó)Optosol吸收率發(fā)射率檢測(cè)儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈，美國(guó)Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管，德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。生命科學(xué)/生物醫(yī)療產(chǎn)品主要有：PCR儀，核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測(cè)儀，電子顯微鏡，紫外設(shè)備，光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，生物芯片，試劑，實(shí)驗(yàn)耗材等。并可依據(jù)客戶需求，研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢(shì)為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，為高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。

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美 Microsense 大型磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)，根據(jù)不同的磁性薄膜和磁盤技術(shù)，共有四款磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)，以適合不同的產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)。

美 Microsense 大型磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

美 Microsense 大型磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)

美國(guó)Microsense公司生產(chǎn)的大型磁光克爾效應(yīng)系統(tǒng)是磁盤材料技術(shù)和多層磁性薄膜材料研究的有力工具。多年以來(lái)，Microsense公司僅專注于精密測(cè)量技術(shù)的開發(fā)和研究。最終形成了不僅可以適用于實(shí)驗(yàn)室做研發(fā)的，同時(shí)還適用于工業(yè)化生產(chǎn)的大型磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)。成為在該領(lǐng)域的工業(yè)產(chǎn)業(yè)化的磁光克爾效應(yīng)系統(tǒng)。根據(jù)不同的磁性薄膜和磁盤技術(shù)，共有四款磁光克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)，以適合不同的產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)。

1. 磁電阻隨機(jī)存儲(chǔ)器極向克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)（Polar Kerr for MRAM）

該系統(tǒng)針對(duì)MRAM的極向克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)利用極向克爾效應(yīng)來(lái)表征在研究和生產(chǎn)垂直MRAM中使用的多層晶片。系統(tǒng)采用非接觸全晶片測(cè)試技術(shù)可表征直徑為300 mm的全晶片磁性能分布圖。這個(gè)系統(tǒng)在科研或者生產(chǎn)的時(shí)候支持手動(dòng)加載或者全自動(dòng)化配置。采用MicroSense磁測(cè)量設(shè)備中*的直接場(chǎng)控制技術(shù)，MRAM極向克爾測(cè)量系統(tǒng)提供高的磁場(chǎng)測(cè)量范圍和優(yōu)異的低場(chǎng)分辨率來(lái)表征單個(gè)系統(tǒng)中自由層或者釘扎層的性質(zhì)。

優(yōu)點(diǎn)

采用非接觸方式可表征直徑最多為300 mm的垂直MRAM晶片的磁性分布。

多層膜測(cè)試磁場(chǎng)為2.4 T，自由層測(cè)試的場(chǎng)分辨率為0.05 Oe。

采用集成的高分辨攝像頭和光學(xué)模式識(shí)別（OPR）軟件對(duì)圖案化樣品進(jìn)行表征。

多層軟磁或硬磁薄膜的表征。

過程控制

這套系統(tǒng)可以測(cè)試晶片任意位置的整條回線。20秒之內(nèi)可以獲得一條±2.4T采點(diǎn)超過16000個(gè)點(diǎn)的完整回線。的可擴(kuò)展的軟件可以自動(dòng)計(jì)算很多參數(shù)。比如釘扎層的交換場(chǎng)，矯頑力，自由層交換場(chǎng)，矯頑力和各項(xiàng)異性場(chǎng)，等等。mapping結(jié)果可以以圖或者表格的形式顯示出來(lái)。

未圖案化晶片的磁性均勻性全掃描

2. 垂直磁存儲(chǔ)材磁盤向克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)（Polar Kerr for PMR Disk）

3. 面內(nèi)磁存儲(chǔ)縱向克爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng) （Kerr Mapper）

KerrMapper系列儀器利用縱向磁光克爾效應(yīng)（MOKE）來(lái)表征GMR/TMR磁頭，MRAM和其他磁性傳感器所使用的多層晶片的磁性。由于采用了非接觸全晶片測(cè)量技術(shù)，KerrMapper S-300和V-300系統(tǒng)可以表征整個(gè)晶片的磁性分布。兩套系統(tǒng)在研發(fā)和生產(chǎn)過程中都支持采用手動(dòng)加載和全自動(dòng)模式。由于采用了MicroSense磁測(cè)量設(shè)備的直接磁場(chǎng)控制技術(shù)，KerrMapper系統(tǒng)在表征單個(gè)系統(tǒng)中自由層或者釘扎層的性質(zhì)的時(shí)候可以提供高的磁場(chǎng)范圍和低場(chǎng)分辨率。

優(yōu)點(diǎn)

表征直徑可達(dá)300 mm的MRAM, MR, GMR, TMR和其他晶片的非接觸磁性分布。

可以對(duì)后沉積和退火效果進(jìn)行自動(dòng)的斜掃瞄和角色散掃描。

采用集成光學(xué)模式識(shí)別硬件和軟件對(duì)圖案化進(jìn)行表征，光斑大小從微米到毫米不等。

多層軟磁和硬磁薄膜的表征。

矢量場(chǎng)測(cè)試Stoner-Wohlfarth星形線，復(fù)雜的偏置場(chǎng)和其他測(cè)量。

磁性表征

KerrMapper S/V-300技術(shù)基于縱向克爾效應(yīng)和MicroSense磁測(cè)量設(shè)備的直接磁場(chǎng)控制技術(shù)。這使得測(cè)試GMR/TMR磁頭，MRAM和軟磁材料薄膜成為可能。主動(dòng)磁場(chǎng)控制避免了影響測(cè)試的磁場(chǎng)的過沖和極尖剩磁，即使對(duì)整個(gè)多層膜進(jìn)行飽和磁化過程中施加了強(qiáng)磁場(chǎng)。

因此，運(yùn)行不同的測(cè)量程序就可以對(duì)整個(gè)薄膜釘扎層和自由層的空間變化分布進(jìn)行表征。利用小光斑模式，系統(tǒng)可用來(lái)測(cè)試圖案化晶片。

晶片的自動(dòng)斜角掃描

4. 熱輔助寫入磁盤磁光克爾效應(yīng)系統(tǒng) （Disk Mapper H7）

DiskMapper H7系統(tǒng)可以快速表征垂直熱輔助磁存儲(chǔ)（HAMR）磁盤的均勻性。測(cè)試過程中使用一個(gè)磁場(chǎng)強(qiáng)度高達(dá)7 T的雙極快速超導(dǎo)磁體，硬盤任意區(qū)域的回線都可以在3分鐘之內(nèi)測(cè)試完畢。DiskMapper H7系統(tǒng)采用全自動(dòng)雙面測(cè)試技術(shù)，在工業(yè)和科研領(lǐng)域都具有廣闊的應(yīng)用前景。

優(yōu)點(diǎn)

對(duì)HAMR/TAR進(jìn)行非破壞性、非接觸的雙面磁性表征。

快速的過程反饋功能增強(qiáng)了對(duì)沉積過程的控制，可以測(cè)量HC、Hn、S、S＊和其他關(guān)鍵性參數(shù)。

磁盤熱選件可以進(jìn)行熱磁曲線測(cè)量。

快速7 T磁體和低成本的7 T磁體可供選擇。

數(shù)據(jù)分析

DiskMapper H7軟件包含了強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析模塊。內(nèi)嵌的分析軟件可以對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取和保存。另外，很多操作功能用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，可以對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行后處理。獲得的數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出并保存為原始數(shù)據(jù)。