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TF500/TF600 適合*研發(fā)和試生產(chǎn)的全功能系統(tǒng)

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  • 公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/7/17 20:20:15
  • 訪問次數(shù)348
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司,經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù),研發(fā)設(shè)計(jì)組裝:紫外臭氧清洗機(jī)(UV清洗機(jī)),準(zhǔn)分子清洗機(jī),等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備,擁有自主品牌及注冊(cè)商標(biāo)。 同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠信的企業(yè)文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機(jī),電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī),紫外光刻機(jī),微納3D打印機(jī),德國Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī),微波離子沉積機(jī)MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機(jī),電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測(cè)儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。 生命科學(xué)/生物醫(yī)療 產(chǎn)品主要有:PCR儀,核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測(cè)儀,電子顯微鏡,紫外設(shè)備,光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實(shí)驗(yàn)耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢(shì)為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。
電子顯微鏡
TF500/TF600 適合*研發(fā)和試生產(chǎn)的全功能系統(tǒng),具有高級(jí)工藝能力。系統(tǒng)配置可選擇多種腔室尺寸和工藝附件,以精確的符合用戶需求。這兩個(gè)型號(hào)的系統(tǒng)都可以安裝多個(gè)鍍膜源,也都支持離子束處理選項(xiàng)。有一系列預(yù)進(jìn)樣室(Load Lock)和樣品操縱裝置可供選擇,以提高真空鍍膜效率。
TF500/TF600 適合*研發(fā)和試生產(chǎn)的全功能系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

TF500/TF600 適合*研發(fā)和試生產(chǎn)的全功能系統(tǒng)

HHV TF500及TF600系統(tǒng)設(shè)計(jì)具有高級(jí)工藝能力。系統(tǒng)配置可選擇多種腔室尺寸和工藝附件,以精確的符合用戶需求。這兩個(gè)型號(hào)的系統(tǒng)都可以安裝多個(gè)鍍膜源,也都支持離子束處理選項(xiàng)。有一系列預(yù)進(jìn)樣室(Load Lock)和樣品操縱裝置可供選擇,以提高真空鍍膜效率。

系統(tǒng)配置不銹鋼真空腔室,高真空泵安裝在腔室后方。工藝附件布局采用特殊設(shè)計(jì),向每個(gè)客戶提供滿意適配化的方案。工藝附件包括熱阻及電子束蒸發(fā)源、直流及射頻濺射源、用于工件刻蝕或輔助沉積的離子源。系統(tǒng)可以同時(shí)配置熱阻、電子束及磁控濺射源。濺射系統(tǒng)可以配置成向上或向下濺射的結(jié)構(gòu)。工件臺(tái)選項(xiàng)包括加熱、冷卻、偏壓和預(yù)進(jìn)樣操作等。

系統(tǒng)控制選項(xiàng)包括穩(wěn)定的PLC真空控制系統(tǒng)配合手動(dòng)操作的工藝附件的簡(jiǎn)單模式,或者計(jì)算機(jī)集成控制的自動(dòng)模式。

關(guān)鍵詞:真空泵
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