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德國Sentech PE-ALD 等離子體增強--原子層沉積

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市藍星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2021/7/15 20:01:47
  • 訪問次數(shù)663
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深圳市藍星宇電子科技有限公司,經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務,研發(fā)設計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準分子清洗機,等離子清洗機/去膠機等科研以及生產(chǎn)設備,擁有自主品牌及注冊商標。 同時我們代理歐美日多家高科技設備廠家高性價比產(chǎn)品, 始終堅持創(chuàng)新, 技術, 服務, 誠信的企業(yè)文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設備和材料的整體解決方案。 應用領域: 半導體/微納,光電/光學, 生命科學/生物醫(yī)療等領域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構等。 半導體/微納,光電/光學 產(chǎn)品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機,電子束光刻機, 激光直寫光刻機,紫外光刻機,微納3D打印機,德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機,微波離子沉積機MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機,電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機等*技術產(chǎn)品。 生命科學/生物醫(yī)療 產(chǎn)品主要有:PCR儀,核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測儀,電子顯微鏡,紫外設備,光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實驗耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關產(chǎn)品。我們以高性價比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務,為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構等客戶提供儀器設備和材料。
電子顯微鏡
德國Sentech PE-ALD 等離子體增強--原子層沉積,SENTECH基于多年研發(fā)制造PECVD和ICPECVD的經(jīng)驗,包括專有的PTSA技術,推出臺PEALD設備。新的ALD設備應用SENTECH橢偏儀,使熱輔助和等離子輔助的操作和沉積過程都能得到監(jiān)控。
德國Sentech PE-ALD 等離子體增強--原子層沉積 產(chǎn)品信息

德國Sentech PE-ALD 等離子體增強--原子層沉積

原子層沉積(ALD)是在3D結構上逐層沉積超薄薄膜的工藝方法。薄膜厚度和特性的精確控制通過在工藝循環(huán)過程中在真空腔室分步加入前置物實現(xiàn)。等離子增強原子層沉積(PEALD)是用等離子化的氣態(tài)原子替代水作為氧化物來增強ALD性能的*方法。

原子層沉積(ALD)是在3D結構上逐層沉積超薄薄膜的工藝方法。薄膜厚度和特性的精確控制通過在工藝循環(huán)過程中在真空腔室分步加入前置物實現(xiàn)。等離子增強原子層沉積(PEALD)是用等離子化的氣態(tài)原子替代水作為氧化物來增強ALD性能的*方法。

SENTECH基于多年研發(fā)制造PECVD和ICPECVD的經(jīng)驗,包括專有的PTSA技術,推出臺PEALD設備。新的ALD設備應用SENTECH橢偏儀,使熱輔助和等離子輔助的操作和沉積過程都能得到監(jiān)控。

SENTECH使用激光橢偏儀和寬量程分光橢偏儀的前沿技術——超快在線橢偏儀來監(jiān)控逐層膜生長。

臺PEALD設備已經(jīng)在布倫瑞克科技大學(TU Braunschweig)投入使用,用于生長超高均勻性和密度的氧化膜,如Al2O3和ZnO等。

在Al2O3沉積過程中,基鋁(TMA)等離子產(chǎn)生的氧原子反應,襯底溫度為80到200℃。PEALD薄膜厚度均勻性高、折射率變化小的特點。


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