名 稱:高精密勻膠機
型 號:EZ4
原產(chǎn)地:
應(yīng) 用:在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
產(chǎn)品概述:
EZ4勻膠機被設(shè)計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制,文本顯示器人機界面。
EZ4勻膠機被設(shè)計為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼,PP材料內(nèi)腔,經(jīng)久耐用。
l 支持wafer尺寸:碎片(小于1cm)至100mm(4"圓晶)
l 速度可調(diào)范圍:100-10000rpm
l 加速度可調(diào)范圍:100-10000rpm/s
l 轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm
l 轉(zhuǎn)速精度:<±5rpm
l 可編程5組5步程序
l 寬電壓輸入:AC100-230V
產(chǎn)品特點:
l 75W 直流無刷電機,單片機控制
l 高清晰文本顯示器
l 可單步和多步勻膠操作
l PP耐腐蝕內(nèi)腔,可更換
l 鋁合金陽極氧化外殼,美觀大方
l 耐溶劑PC透明蓋
l 多角度定位鉸鏈設(shè)計
l HDPE真空吸盤
產(chǎn)品外型尺寸:
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)
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