6寸PFA晶舟盒25片晶圓盒耐腐蝕清洗花籃
花籃
花籃也稱為晶圓盒，清洗盒，晶舟盒，wafer cassette，在半導體制造過程中用于運輸和存儲晶圓。也被稱為晶片載體，它們被設計用來容納或攜帶幾個相同尺寸的晶片，并可用于一系列材料以支持特定的應用，如熱加工。真空棒通常用于將晶片收集和沉積在盒中，然后用盒在處理室和其他存儲容器之間轉(zhuǎn)移晶片。定制磁帶可以設計成與特定的系統(tǒng)或存儲容器接口。我司花籃能夠容納一個到多個晶圓，通常最多可容納25個晶圓用于運輸或存儲。開放式側(cè)壁結(jié)構(gòu)，便于晶圓處理。
PFA花籃*性能優(yōu)勢：
1. 金屬元素空白值低（鉛、鈾等元素含量＜0.01ppb）
2. 耐強腐蝕：耐各種有機溶劑和強酸強堿
3. 無溶出和析出，純凈無污染
4. 耐高低溫：-200至260℃
5. 耐絕緣、抗氧化、防靜電
可雷雕、可裝RFID 進行載具和材料追蹤
品名 | 耐溫范圍 | 特性 | 應用實驗 |
| PFA花籃 |
-200至260℃ |
1.耐強酸、強堿和各種有機溶劑 2.金屬元素空白值低 3.無溶出和析出 4.耐候性佳、不易應力變形 5.耐磨、抗靜電性 6.有優(yōu)良的化學穩(wěn)定性 |
半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。 |
PTFE 花籃
|
-200至250℃ |
6寸PFA晶舟盒25片晶圓盒耐腐蝕清洗花籃
花籃尺寸 | 長x寬x高 | 容量 | 槽間距 | 適 用 晶 圓 |
50mm(2英寸)(有豆) | 142.1(L)x67.8(W)x59.0(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 2 inch (Ø50mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
50mm(2英寸)(無豆) | 142.1(L)x67.8(W)x59.0(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 2 inch (Ø50mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
2.5英寸 | 142(L)x79(W)x73(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 2.5 inch 晶圓 |
75mm(3英寸) | 142.49(L)x94.36(W)x82.53(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 3 inch (Ø75mm) 晶圓 |
100mm(4英寸) | 142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 4 inch (Ø100mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
100mm(4英寸)(鏤空版) | 142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 4 inch (Ø100mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
104mm(4.125英寸)(鏤空版) | 142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 4.125″ inch(Ø104mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
125mm(5英寸) | 152.4(L)x142.88(W)x146.05(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 5 inch (Ø125mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圓 |
150mm(6英寸) | 143.38(L)x177.8(W)x171.45(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 6 inch (Ø150mm)晶圓 |
200mm(8英寸) | 203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 |
200mm(8英寸)(鏤空版) | 203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 |
150mm(6英寸) | 178(L)x144(W)x115(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 6 inch (Ø150mm)晶圓 |
200mm(8英寸) | 234.19(L)x220.5(W)x159(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm)晶圓 |
150mm(6英寸) | 177(L)x145(W)x173(H)mm | 12PCS | 9.525mm | 6 inch (Ø150mm) 晶圓 |
200mm(8英寸) | 203.05(L)x233.05(W)x218.44(H)mm | 13PCS | 12.7mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 |
300mm(12英寸) | 350(L)x180(W)x320(H)mm | 13PCS | 10mm | 12 inch (Ø300mm) 晶圓 |
200mm(8英寸) | 200(L)x228(W)x250(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 |
150mm(6寸) | 143.38(L)x177.8(W)x171.45(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 6 inch (Ø150mm)晶圓 |
178(L)x144(W)x115(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 6 inch (Ø150mm)晶圓 | |
177(L)x145(W)x173(H)mm | 12PCS | 9.525mm | 6 inch (Ø150mm) 晶圓 | |
200mm(8寸) | 203.2(L)x233.05(W)x218.44(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 |
234.19(L)x220.5(W)x159(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm)晶圓 | |
203.05(L)x233.05(W)x218.44(H)mm | 13PCS | 12.7mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 | |
200(L)x228(W)x250(H)mm | 25PCS | 6.35mm | 8 inch (Ø200mm) 晶圓 | |
300mm(12寸) | 350(L)x180(W)x320(H)mm | 13PCS | 10mm | 12 inch (Ø300mm) 晶圓 |
聚四氟乙烯系列產(chǎn)品：
四氟燒杯，四氟坩堝，四氟燒瓶，四氟藥匙，四氟鑷子，四氟培養(yǎng)皿，四氟蒸發(fā)皿，四氟接頭，四氟閥門，四氟酶標板，四氟試劑瓶，四氟離心管，四氟漏斗，四氟容量瓶，四氟砝碼，四氟試管架、四氟攪拌棒，四氟藥勺，四氟布氏漏斗， 四氟消解瓶等。
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