寬視場鉸鏈式三目觀察筒
正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實際方向相同,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于觀察與操作.
大行程移動平臺設計
采用6寸平平臺設計,行程158×158mm,可適用于對應尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設計,轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
安全、穩(wěn)重的機架結(jié)構(gòu)設計
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可適應不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設計有風循環(huán)散熱系統(tǒng),長時間使用也不會使機架過熱。
LCD導電粒子檢查顯微鏡MX6RT技術規(guī)格
型號 | MX6RT |
可選擇的觀察方法 | 明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
目鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 |
觀察筒 | 30°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三目=100:0或50:50 |
物鏡 | LMPL無限遠長工作距金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X |
轉(zhuǎn)換器 | 5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 |
載物臺 | 4”雙層機械移動平臺,行程105x 105mm,帶玻璃平臺,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口 |
顯微鏡鏡體 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,,帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,雙路電源輸出 |
反射照明器系統(tǒng) | 帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調(diào)中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿。12V100W鹵素燈,光強連續(xù)可調(diào)(選擇此組照明器時,應使用MX-6R型顯微鏡鏡體) |
透射照明系統(tǒng) | 單顆大功率5W LED,白色,光強連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌 |
LCD導電粒子檢查顯微鏡拍照效果圖: