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12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)蘇州工業(yè)園區(qū)匯光科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/5/22 8:45:50
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)1252
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蘇州工業(yè)園區(qū)匯光科技有限公司成立于2003年,是一家專(zhuān)業(yè)從事以顯微光學(xué)、顯微視覺(jué)、數(shù)碼成像,自動(dòng)化測(cè)量以及非標(biāo)智能檢測(cè)類(lèi)為核心的各種工業(yè)用光學(xué)檢測(cè)分析儀器和設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售。
數(shù)碼顯微鏡
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)主要有二款,型號(hào)分別是AL120-LMB12-LP、AL120-LMB12-F。奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)對(duì)應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,常用于低成本的后期檢查。12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì),確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)主要特性:

●堅(jiān)固、可靠和安全傳送

12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓,且薄片,Warped晶圓也能安全搬送。

●人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作方便

12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。

12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)宏觀觀察位置的更優(yōu)化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作性。

自動(dòng)300 mm晶圓檢查系統(tǒng) AL120-12 技術(shù)規(guī)格12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)AL120-LMB12-LP/AL120-LMB12-F

型號(hào)

AL120-LMB12-LP

AL120-LMB12-F

晶圓尺寸

300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm

卡盒數(shù)

單盒(裝載、卸載兼用)

卡盒設(shè)置高度

900 mm

裝載端口

無(wú)

搬運(yùn)順序

表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查

檢查模式

全部檢查、抽樣檢查

晶圓校準(zhǔn)

非接觸式中心環(huán)

晶圓搬運(yùn)方式

真空吸附機(jī)械搬運(yùn)

適用顯微鏡

半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L

應(yīng)用環(huán)境

AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz ,真空-67~-80 Kpa

載物臺(tái)

XY手動(dòng)吸附載物臺(tái),有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

重量(不包括顯微鏡)

約360 kg

約270 kg

關(guān)鍵詞:顯微鏡
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