小型旋轉涂覆儀產品用途:
勻膠機可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。
小型旋轉涂覆儀技術參數:
| 項目 | 明細 |
旋涂儀 | 供電電壓 | AC220V 50Hz |
轉速 | 0~8000rpm | |
加速度 | 100~5000rpm/s | |
轉速分辨率 | 1rpm | |
單步時間 | 3000s | |
基片尺寸 | 直徑≤4英寸(100mm) | |
腔體材質 | 透明亞克力 | |
操作方式 | 按鍵+液晶屏 | |
滴膠方式 | 手動滴膠,可選購精密注射泵 | |
勻膠曲線 | 每條曲線5段,共可儲存5條曲線 | |
抽氣接口 | φ6mm 快擰接口 | |
整機尺寸 | 210mm × 250mm × 180mm | |
整機重量 | 8kg | |
排氣系統 | 真空泵 | 干式機械泵 |
抽氣速率 | 50L/min | |
供電電源 | AC220V 50/60Hz |