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AMC空氣分子污染物Mc監(jiān)測系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京杜克泰克科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號阿瑞斯-µVOC
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2020/3/31 11:32:34
  • 訪問次數(shù)416
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北京杜克泰克科技有限公司,是一家專注于工業(yè)氣體分析、工業(yè)過程控制、礦業(yè)勘察的科技公司,致力于為環(huán)境保護、能源電力、石油化工、冶金礦業(yè)、天然氣、生物制藥等行業(yè)提供工業(yè)過程參數(shù)測量儀器和解決方案。

濃密度計、光譜色譜儀、溶解氧分析儀、碳化及氮化裝置、脫氧脫氣脫醇裝置、殺菌消毒凈化裝置、攪拌混合加藥裝置
空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素,會導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo),通過污染物源頭控制、傳播控制,實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實現(xiàn),持久監(jiān)測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。
AMC空氣分子污染物Mc監(jiān)測系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

阿瑞斯-µVOC提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案,不需要采樣,離線測量。

 

檢測限達到sub-ppb

 

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC,內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護修理時散發(fā)等,外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

 

一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會引起一系列嚴(yán)重后果,比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。

 

隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加,空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。

 

污染物從加工到超凈間的擴散,并且成份的增加,分子污染物來自多個源頭,比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑、建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置、操作人員等。

 

阿瑞斯-µVOC  系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián),完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量,提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因。

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