產(chǎn)品特性
1. 可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試(4.2K-450K)
2. 防輻射屏設(shè)計(jì),樣品溫度均勻性和穩(wěn)定性更好
3. 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng)
4. 探針熱沉設(shè)計(jì)
5. 可升級(jí)自動(dòng)流量控制
6. 可升級(jí)加載磁場(chǎng)
7. 支持光譜波長(zhǎng)/光功率特性測(cè)試
8. 器件的高頻特性(支持67GHz頻率)
9. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜波長(zhǎng)測(cè)試
VCSEL/LD/LED/PD的的LIV/CV特性測(cè)試
主要技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | LSO-WPS50-TEC | LSO-WPS100-TEC | LSO-WPS50C-TEC | |
外形 | 900mm長(zhǎng)* 900mm寬* 530mm高 | 1100mm長(zhǎng)* 1100mm寬* 530mm高 | 1100mm長(zhǎng)* 1100mm寬* 1030mm高 | |
重量 | 約170公斤 | 約190公斤 | 約290公斤 | |
電力需求 | AC220V, 50~60Hz | |||
樣品臺(tái) | 尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
樣品固定方式 | 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片 | |||
樣品臺(tái)移動(dòng) | 固定的樣品臺(tái) | |||
真空度 | 10^-10torr真空 | |||
光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | 2*2英寸 | 4*4英寸 | 2*2英寸 |
放大倍數(shù) | 變焦:7:1分辨率4μm(放大倍數(shù)216X)或者選用金像顯微鏡(20X-1000X) | |||
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch | 4inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | |||
溫度控制 | 制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷壓縮機(jī) | |
控制方式 | 開(kāi)循環(huán)手動(dòng)/自動(dòng)冷媒流量控制 | 閉循環(huán)自動(dòng)控制 | ||
控溫范圍 | 77~450K/4.2K~450K | 4.2K~450K | ||
控溫分辨率 | 0.001k | |||
溫度穩(wěn)定性 | 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K | |||
373K ±0.08K 473K ±0.1K | ||||
823K ±0.2K(可選) 973K ±1.0K(可選) | ||||
常溫到8K冷卻時(shí)間 | 90min | 150min | ||
8K到常溫升溫時(shí)間 | 90min | 90min | ||
常溫開(kāi)始的升溫時(shí)間 | 100℃ 150℃ 200 ℃ | |||
30min 50min 80min | ||||
加熱電源 | LVDC低壓直流 | |||
傳感器 | 硅二極管 | |||
傳感器數(shù)量 | 樣品臺(tái),防輻射屏,探針臂各一個(gè) | |||
功率 | 50W/100W/500W/1000W | |||
點(diǎn)針規(guī)格 | 探針數(shù)量 | 2個(gè)/4個(gè)/6個(gè) | ||
探針調(diào)節(jié) | 真空波紋管外部調(diào)節(jié),手動(dòng)控制 | |||
點(diǎn)針精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | |||
點(diǎn)針行程 | 25mm-25mm-25mm | |||
漏電精度 | 10pA/100fA | |||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | |||
應(yīng)用方向 | 高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試,材料測(cè)試,霍爾測(cè)試,電磁輸運(yùn)特性等 |