海納光學(xué)提供納米定位設(shè)備，納米定位平臺，顯微鏡納米定位平臺，OEM納米定位平臺，Queensgate
型號：NPS-X-28C，QGNPS-TG-7A，QGNPS-X-15A，QGNPS-XY-100
PRIOR公司旗下的Queensgate系列納米定位設(shè)備（Nanopositioning Devices）擁有悠久而成功的歷史，其專家團(tuán)隊擁有豐富的知識和經(jīng)驗(yàn)，能夠提供一系列OEM納米定位解決方案。
Queensgate系列產(chǎn)品有納米定位設(shè)備，納米定位平臺，納米傳感器，控制器和電子設(shè)備，還包括納米定位執(zhí)行器/轉(zhuǎn)換器和軟件等各種納米技術(shù)產(chǎn)品。
一、OEM納米定位平臺
型號：NPS-X-28C納米定位平臺，30μm行程范圍, Nanopositioning
NPS-X-28C是為高速，超精密MR磁頭和磁盤驅(qū)動器測試應(yīng)用而開發(fā)的OEM納米定位平臺。它體積小，毫秒響應(yīng)時間非常適合高可靠性和高吞吐量的應(yīng)用。NPS-X-28C納米定位平臺具有低移動質(zhì)量和高剛度相結(jié)合，并且提供*的帶寬。
NPS-X-28C納米定位設(shè)備采用電容式傳感器設(shè)計，提供亞納米位移測量和超過30微米范圍的閉環(huán)反饋。設(shè)備具有高精度的運(yùn)動，很大程度上避免寄生運(yùn)動。結(jié)合Queensgate的數(shù)字閉環(huán)控制器，NPS-X-28C可以實(shí)現(xiàn)毫秒響應(yīng)和穩(wěn)定時間（settle times）。
NPS-X-28C 30 OEM納米定位平臺的特點(diǎn)：
· >30μm行程，亞納米分辨率
· *諧振頻率> 4.5KHz
· 帶寬高達(dá)1KHz
· 原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
· 穩(wěn)定可靠，即插即用設(shè)施，可實(shí)現(xiàn)低停機(jī)時間。
控制器型號：
NPC-D-5200或NPC-D-6330系列控制器
專為控制Queensgate的納米精密設(shè)備而設(shè)計。PRIOR的控制器使用現(xiàn)代DSP技術(shù)，并結(jié)合壓電驅(qū)動放大器，電容位置傳感電路和伺服控制功能，同事還使用PID（比例積分微分）反饋，*地改善了穩(wěn)定時間并弱化了機(jī)械共振的影響。虛擬前面板軟件便于用戶控制所有操作參數(shù)，包括設(shè)置PID循環(huán)。
二、Nanopositioning Stages顯微鏡納米定位平臺
PRIOR的Nanopositioning Stages納米定位平臺采用閉環(huán)壓電驅(qū)動技術(shù)。產(chǎn)品規(guī)格書中列出了納米平臺對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)材料，我們還提供眾多替代材料，包括Super Invar，不銹鋼，鈦和鋁，應(yīng)用于真空，輻射，高溫兼容等不同的場合。
Queensgate納米定位平臺采用線性或傾斜/旋轉(zhuǎn)形式，具有單軸和多軸配置，采用高性能壓電驅(qū)動，結(jié)合Queensgates*的電容位置反饋，提供完整的高性能閉環(huán)系統(tǒng)。合理設(shè)定閉環(huán)數(shù)字控制器，即可以實(shí)現(xiàn)*即插即用的互換性，使用非常方便。
QGNPS-TG-7A高性能*傾斜納米平臺
納米定位*傾斜納米平臺QGNPS-TG-7A專為需要高速，超高精度，光學(xué)檢測中的反射鏡定位、成像系統(tǒng)和激光定位設(shè)備而開發(fā)。一個的鏡子固定在傾斜基座平臺上，提供> 7毫弧度的行程，具有亞微弧度分辨率。
QGNPS-TG-7A專為高速帶寬而設(shè)計，適用于高速應(yīng)用。 它采用Invar 36結(jié)構(gòu)制造，其低熱膨脹系數(shù)與大多數(shù)光學(xué)元件相匹配，可大限度地減少熱變形，并大限度地減少熱位置移動。標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)提供± 3.5 mrad行程，但可根據(jù)要求提供更短距離選項(xiàng)。
QGNPS-TG-7A納米轉(zhuǎn)動平臺的特點(diǎn)：
· 每個軸向有超過7mrad的移動范圍，分辨率高達(dá)亞微弧度
· Invar 36設(shè)計匹配大多數(shù)光學(xué)元件的熱膨脹并小化任何熱位置移動
· 電容式定位傳感器提供的位置精度和準(zhǔn)確度，高位置更新率
· 動態(tài)性能，高負(fù)載諧振頻率以及超過1KHz的超高伺服環(huán)路帶寬
· 封閉機(jī)制，高穩(wěn)定性和可靠性
· 步進(jìn)時間<2ms
· 即插即用
QGNPS-TG-7A納米旋轉(zhuǎn)平臺的控制器型號為QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller，這款納米旋轉(zhuǎn)平臺可用于激光掃描、激光束穩(wěn)定、圖像處理和穩(wěn)定、光學(xué)濾波器/開關(guān)、掃描顯微鏡（SPM）和激光通信指向設(shè)備等領(lǐng)域。
QGNPS-X-15A快速定位微米平臺，15μm行程
QGNPS-X-15A 微米級平臺是專為高速，超精密MR磁頭和磁盤驅(qū)動器測試等應(yīng)用而設(shè)計，其具有小巧的尺寸和毫秒的響應(yīng)時間，非常適合用于高可靠性和高吞吐量的各種應(yīng)用場合。QGNPS-X-15A 快速定位微米平臺具有低移動質(zhì)量（low moving mass）和高剛度，提供*的帶寬。
微米平臺內(nèi)部集成了緊湊的內(nèi)部電容式傳感器，可在超過16微米的范圍內(nèi)提供亞納米位移測量和閉環(huán)反饋。提供高純度的運(yùn)動，將寄生運(yùn)動減少到通常1微弧度。結(jié)合Queensgate的數(shù)字閉環(huán)控制器，QGNPS-X-15A可以實(shí)現(xiàn)毫秒響應(yīng)和啟動時間。
QGNPS-X-15A快速定位微米平臺的特點(diǎn)：
·15微米行程，亞納米分辨率
·*諧振頻率3 KHz (4 KHz NPS-X-15D)
·負(fù)載為50克時響應(yīng)時間為毫秒級
·原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
·穩(wěn)定可靠的工業(yè)級產(chǎn)品
·低停機(jī)時間，即插即用
QGNPS-X-15A快速定位微米平臺的控制器型號可選NPC-D-5200 Digital Controller或NPC-D-6000 Series。其應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋磁頭和磁盤驅(qū)動器測試、干涉測量法、計量學(xué)和原子力顯微鏡探針等領(lǐng)域。
QGNPS-XY-100兩軸微米平臺（兩軸100x100µm平臺）
QGNPS-XY-100屬于壓電掃描彎曲導(dǎo)向平臺，帶有集成電容位置傳感器，能夠達(dá)到亞納米級的分辨率和重復(fù)性。QGNPS-XY-100的彎曲引導(dǎo)結(jié)構(gòu)能夠使兩軸微米平臺在整個100微米范圍內(nèi)將寄生角運(yùn)動減少到小于25微弧度。這款兩軸微米平臺還采用了*的等靜壓安裝系統(tǒng)，可確保安裝系統(tǒng)的應(yīng)力得到適當(dāng)?shù)尼尫?，并確定平臺的中心作為坐標(biāo)參考點(diǎn)。
QGNPS-XY-100A雙軸100μmx100μm超級不脹鋼微米平臺——由超級殷鋼（CTE 0.3ppm K-1）制成，可大限度地減少熱漂移，這一點(diǎn)對于納米平臺非常重要。配備3點(diǎn)可調(diào)安裝座。
QGNPS-XY-100D雙軸100μmx100μm超級鋁微米平臺——具有分辨率，快速的XY-100系列動態(tài)，非常具有性價比。 配備4個角落安裝。
QGNPS-XY-100特點(diǎn)：
· 每個軸行程大于100微米，亞納米分辨率
· 滯后和線性誤差<0.005％
· *諧振頻率> 350 Hz（NPS-XY-100A），> 500 Hz（NPS-XY-100B），> 650 Hz（NPS-XY-100D）
· 高帶寬（> 50 Hz）和快速響應(yīng)時間
· 原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
· 與NPS-Z-15A或NPS-Z-15H配合使用可實(shí)現(xiàn)XYZ三軸平移
· 使用超級不脹鋼材料（NPS-XY-100A），鋁合金（NPS-XY-100B）或鋁（NPS-XY-100BD）
QGNPS-XY-100兩周微米平臺的控制器型號為QGNPC-D-6330 Three Axis Digital Controller，其可應(yīng)用于高精度顯微鏡和原子力顯微鏡，SPM，NSOM等領(lǐng)域。
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