MProbe MSP顯微反射膜厚儀
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅),半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)。
測量范圍: 1 nm -800um
波長范圍: 200 nm -1700 nm
光斑直徑:200um-4um
MProbe MSP顯微反射膜厚儀適用于實(shí)時(shí)在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
測量指標(biāo):薄膜厚度,光學(xué)常數(shù)
界面友好強(qiáng)大: 一鍵式測量和分析。
實(shí)用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動(dòng)態(tài)測量和產(chǎn)線批量處理。
測量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直徑,波長范圍:200-1000nm:
歡迎選購本公司產(chǎn)品,鉑悅儀器自 2004年成立以來,憑借與世界各大儀器的戰(zhàn)略合作關(guān)系,以及不斷優(yōu)化公司自身經(jīng)營管理,提高服務(wù)質(zhì)量,成為中國國內(nèi)的儀器供應(yīng)商。