簡介
1200℃加長雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)是由加長雙溫區(qū)管式實(shí)驗(yàn)電爐，多通道高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)，高真空分子泵系統(tǒng)等組成。可實(shí)現(xiàn)真空達(dá)0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積、擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)。同時上海煜志良好的售后服務(wù)體系，使得該產(chǎn)品的整體評價遠(yuǎn)*業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
1200℃加長雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，流線型外觀，斷熱式結(jié)構(gòu) *真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 雙層殼體結(jié)構(gòu)，內(nèi)置風(fēng)冷層，有效降低外殼表面溫度 爐蓋可開啟，可以實(shí)時觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：8kW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小； 尺寸：Φ60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 溫度：1200℃； 升溫速率：*≤10℃/min； 快升溫速度30℃/min. |
溫控系統(tǒng) | 日本富士儀表，64段控溫程序，可分步、分段； 測溫元件：N型熱電偶； 控溫精度：±1℃ |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套 每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格：0~1SLM 流量精度：±1.5% 法蘭上預(yù)留一路浮子流量計(jì)，流量規(guī)格0.3-3L/min |
真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵+分子泵，極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa 復(fù)合真空計(jì)顯示，配置電阻規(guī)+電離規(guī) 抽速：110L/s，風(fēng)冷式散熱結(jié)構(gòu) 配置真空角閥、波紋管、壓差式充氣閥 |
可選配件 | 冷水機(jī)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件等 |
保修期 | 整機(jī)一年保修（相關(guān)耗材除外） |
可根據(jù)客戶要求定制！
特色與優(yōu)勢
1.加長雙溫區(qū)爐體，大大加長了實(shí)驗(yàn)區(qū)域的溫度均勻性；
2.開啟式爐蓋設(shè)置，降低沉積溫度、加快沉積速度；
3.日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分布，分段，三路質(zhì)量流量計(jì)，數(shù)字顯示精確控制氣體流量；
4.雙極旋片真空泵+分子泵，實(shí)現(xiàn)對真空度的不同要求，極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa；
5.配置一路浮子流量計(jì)及三路高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng)，可滿足不同氣氛下的實(shí)驗(yàn)要求；
6.內(nèi)置S型熱電偶，可快速、實(shí)時監(jiān)測反應(yīng)物料的溫度變化情況；
7.尾氣活性炭過濾處理，減少反應(yīng)氣體排放對實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的影響。
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