SAHUS無油渦旋真空泵由泵頭、電機(jī)、機(jī)座等構(gòu)成。泵頭含有動、定渦旋盤、曲軸、密封件、風(fēng)扇和泵殼等。渦旋盤為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋形盤壁組成,定渦旋盤與動渦旋盤組成渦旋盤付構(gòu)成無油渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。工作過程中動、定渦旋盤互不接觸,依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔,通過吸氣、壓縮、排氣的循環(huán),使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出,實現(xiàn)對被抽腔體抽真空
特點
抽速范圍廣,從1升/秒到17升/秒
適用于電源電壓與頻率,110/220/380/460V,50/60Hz
高效環(huán)保,不返油也不噴油,創(chuàng)造潔凈真空和潔凈工作環(huán)境
操作簡單,能在大氣壓和真空之間頻繁啟動與關(guān)閉
低振動,低噪音,低能耗
重量輕、體積小
用途
鍍膜,PVD/CVD/LPD
LED/LCD/激光管抽真空與封裝
真空爐/單晶爐/烘箱
電子束焊接/激光焊接
手套箱/排氣臺
預(yù)處理室/樣品傳輸室抽真空
激光管抽真空/封接
真空檢漏/He質(zhì)譜檢漏
稀有/特殊氣體回收/再循環(huán)
冷凝泵再生
分子泵前級
空間環(huán)境模擬
表面分析儀器/能譜儀/掃描電鏡
光束線
使用注意事項
不能抽對人體有害或者易爆、易燃或腐蝕性氣體,或者含有化學(xué)品、溶劑、以及能生成粉末的物質(zhì),以免由于爆炸或者燃燒引起人身傷害。
進(jìn)氣溫度不能超過50℃,如果超過該溫度,必須在進(jìn)氣管路上安裝冷卻裝置,使進(jìn)氣溫度低于50℃。