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ISO14644 分級(jí) | 對(duì)應(yīng)傳統(tǒng)規(guī)格 | 氣流形式 | 平均風(fēng)速m/s | 換氣次數(shù) | 末端過(guò)濾器 效率 | 過(guò)濾器檢測(cè) 方法 |
ISO1 |
|
|
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| ≥99.9999% | 掃描 |
ISO2 |
| U | 0.3-0.5 |
| ≥99.9999% | 掃描 |
ISO3 | 1 | U | 0.3-0.5 |
| ≥99.9999% | 掃描 |
ISO4 | 10 | U | 0.3-0.5 |
| ≥99.9999% | 總效率或掃 描 |
ISO5 | 100 | U |
| 70-160 | ≥99.97% | 總效率或掃 描 |
ISO6 | 1，000 | N M |
| 20-70 | ≥99.97% | 總效率或掃 描 |
ISO7 | 10，000 | N M |
| 10-20 | ≥99.97% | 總效率或掃 描 |
ISO8 | 10，000 | N M |
|
| ≥99.97% | 總效率或掃 描 |
ISO9 | 100，000 |
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注:U-單向流,N-非單向流,M-單向與非單流
單向流潔凈室也稱"層流"或勻流潔凈室，這種潔凈室的平均風(fēng)速至關(guān)重要，粉塵的自由擴(kuò)散速度是0.15-0.2m/s,如果風(fēng)速壓不住粉塵的擴(kuò)散速度,使用效率再高的過(guò)濾器也達(dá)不到預(yù)期的效果。
非單向流潔凈室，也稱亂流潔凈室，潔凈室靠送風(fēng)來(lái)稀釋塵埃，以達(dá)到一定的潔凈度要求。亂流潔凈室由于室內(nèi)操作人員較多、設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)塵量也較大，效率的高低不是決定性因素
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