詳細介紹
產(chǎn)品特點:
■臺面材料采用優(yōu)質(zhì)濟南青大理石,表面精度高,耐腐蝕性強
■內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng),具備優(yōu)異的隔振性能,自動調(diào)節(jié)水平功能
■該產(chǎn)品適用于平面度要求高的實驗
技術(shù)指標:
■平面度:00級
■固有頻率:1.0Hz~1.5Hz
■減振效率:x方向<5Hz時:86%~92% y方向<5Hz時:84%~90%
x方向<10Hz時:90%~96% y方向<10Hz時:88%~93%
■振幅:< 1.0μm
■重復定位精度:±0.05mm
接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn)
備注:安裝費用1500--5000元,視現(xiàn)場情況而定
裝配地點:上海某光學科技公司
裝配地點:中山大學微電子學院