紫外光刻膠-薄膠

S1800系列

g-Line,
broad line

0.5-3.5

0.5um

正性光刻膠，穩(wěn)定性好；適用于分辨率要求較高的光刻工藝

AZ5214

g/h/i-Line

1-2um

0.5um

反轉(zhuǎn)膠

BCI-3511

i-Line

0.5-2

0.5um

正性i線光刻膠，適用于各類接觸式光刻機（mask aligner）、stepper

SPR 955

i-Line

0.5-3.5

0.35um

正性i線光刻膠，適用于分辨率要求較高的濕法腐蝕和干法刻蝕

AZ 1500

g/h/i-Line

0.5-5

正性光刻膠，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造