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詳細(xì)介紹
JXA-8230 電子探針顯微分析儀
可以安裝通用性強(qiáng)、使用方便的能譜儀X射線探測(cè)器，組合使用WDS和EDS，能提供無(wú)縫、舒適的分析環(huán)境。
產(chǎn)品規(guī)格：
檢測(cè)元素范圍 | WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～U |
X射線檢測(cè)范圍 | WDS檢測(cè)的波長(zhǎng)范圍: 0.087～9.3nm, |
分光譜儀數(shù)量 | WDS: 1～5道可選、EDS: 1臺(tái) |
樣品尺寸 | 100mm × 100mm × 50mm（H） |
加速電壓 | 0～30kV（以0.1 kV為步長(zhǎng)） |
束流電流范圍 | 10-12 ～ 10-5 A |
束流電流穩(wěn)定度 | 5%/h, ±0.3%/12h（W） |
二次電子分辨率 | 6nm（W）, 5nm（LaB6）*2 |
掃描倍率 | ×40 ～ ×300,000（W. D. 11mm） |
掃描圖像分辨率 | 5,120× 3,840 |
彩色顯示器 | EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024 |
光學(xué)顯微鏡 |
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分辨率 | ～1um |
焦深 | 1um |
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵、分子泵、離子泵 *2 |
真空度 | 樣品室: 優(yōu)于8.0 x 10-4Pa, |
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 可以安裝通用性強(qiáng)、使用方便的能譜儀X射線探測(cè)器，組合使用WDS和EDS，能提供無(wú)縫、舒適的分析環(huán)境。
· 日本電子新開發(fā)出的EPMA （電子探針）秉承近半個(gè)世紀(jì)的EPMA的發(fā)展歷史，JXA-8230具備用戶友好的操作、通過(guò)新式簡(jiǎn)單易用的PC 用戶界面提供完整范圍的高精度、快速分析，這是JEOL長(zhǎng)年來(lái)對(duì)高可靠性硬件不斷改良的結(jié)果。JXA-8230電子探針是下一代能*多種需求的強(qiáng)力分析工具之一。
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· EPMA快速啟動(dòng)
· 點(diǎn)擊任何一點(diǎn)，就能開始預(yù)設(shè)的EDS定性、定量分析或WDS分析。
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· 用戶菜單（User recipes）
· 能保存或調(diào)用經(jīng)常使用的各種不同類型的樣品分析條件，菜單中包括了全部的電子光學(xué)參數(shù)、EDS和WDS參數(shù)在內(nèi)。
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· EDS 的性能
· 數(shù)字化脈沖處理器
· 全譜面分布(WD/ED, 樣品臺(tái)和電子束掃描)
· 無(wú)風(fēng)扇SDD (選配)
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