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詳細(xì)介紹
Energetiq光源是一款高亮度，高穩(wěn)定、長壽命寬譜光源，采用革命性的光源技術(shù)——LDLS™激光驅(qū)動光源技術(shù)，這種光源從170nm通過可見光到近紅外2100nm范圍內(nèi)亮度*、光譜平坦，壽命比傳統(tǒng)光源高一個(gè)數(shù)量級。
無電極Z-PinchTM EUV（極紫外）、SXR（軟X射線）光源系列
Energetiq*的技術(shù)基于Z-Pinch等離子體，但是*不使用電極而是通過電感將電流耦合進(jìn)入等離子體中。Energetiq光源中的等離子體通過磁性遠(yuǎn)離光源內(nèi)壁，能夠?qū)嶝?fù)載消除到極低并減少殘留碎屑。Energetiq的無電極Z-Pinch技術(shù)有的空間穩(wěn)定性和穩(wěn)定的可重復(fù)輸出功率。
主要特點(diǎn)
輸出波長13.5nm，2nm-4nmTM
輸出功率10W@13.5±1%（可選20W型號）
重復(fù)頻率2kHz（可選10kHz型號）
無電極Z-Pinch技術(shù)
符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703
主要應(yīng)用
EUV度量學(xué)
耐EUV開發(fā)
缺陷檢測
EUV顯微學(xué)
水窗顯微鏡（XSR版本）
選型指南
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型號 | EQ-10 | EQ-10HR | EQ-10HP | EQ-10SXR |
輸出功率 （用氙氣在2π球面） | 10W,13.5nm,±1%寬帶 | - | 20W,13.5nm,±1%寬帶 | 400mW,2.8nm,產(chǎn)生2-4nm軟X射線 |
脈沖重復(fù)率 | 1200 to 2000 Hz | 10kHz | 1200 to 2500 Hz | 2kHz |
尺寸 | 小等離子體尺寸 | |||
殘留情況 | 低殘留 | |||
工作壓強(qiáng) | 一般70到100 mTorr | 一般150 mTorr | 一般70到150 mTorr | - |
氙氣流速 | 一般5到15 sccm | 一般100 sccm | 一般5到15 sccm | - |
低成本 | 氙氣流速低，將消耗成本降低，占地面小 | |||
可靠性強(qiáng) | 無電極Z-Pinch技術(shù)，符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703 | |||
應(yīng)用 | EUV度量學(xué) 耐EUV開發(fā) 缺陷檢測 EUV顯微學(xué) | EUV光學(xué)元件測量 EUV計(jì)量學(xué) 耐EUV開發(fā) 缺陷檢測 EUV顯微學(xué) | EUV掩膜檢測 EUV度量學(xué) 耐EUV開發(fā) EUV顯微學(xué) | 水窗顯微鏡 細(xì)胞微光束探測 |
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