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詳細(xì)介紹
性能參數(shù)
性能/參數(shù) | LKD13系列質(zhì)量流量控制器 |
流量范圍 | 0.5SCCM-1000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等 |
標(biāo)定氣體 | 內(nèi)置90條氣體可選擇 |
精度(調(diào)零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
高精度(調(diào)零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
重復(fù)性 | ±0.2%FS |
漂移(零點(diǎn)/滿量程) | 0.02% F.S/oC/Atm |
工作范圍 | 0.5- |
響應(yīng)時(shí)間 | 100毫秒(調(diào)整) |
啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間 | 1秒內(nèi) |
標(biāo)準(zhǔn)工況 | 25oC & 14.696 psia，可自定義修改 |
工作溫度范圍 | -10~-50℃(另有高溫訂制品) |
工作濕度范圍 | 0-RH(非冷凝) |
工作壓力 | 3Bar |
安裝方向 | 任意 |
閥門(mén)狀態(tài) | 常閉 |
材質(zhì) | SUS302\303\304不銹鋼、密封圈VITON |
顯示屏 | 背光LCD顯示屏，同時(shí)顯示流量、壓力、溫度 |
數(shù)字信號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)RS232 選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
模擬信號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
第二路模擬信號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
電氣接口 | 標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯 選配:圓形6芯、DB9、DB15 |
供電電壓 | +24VDC |
消耗電流 | 2SLPM以?xún)?nèi)：250mA 5SLPM以上：750mA 注：1000SLPM消耗2000mA電流 |
性 能 升 級(jí)(LKD13系列小流量) | |
流量范圍 | 10SCCM-100SLPM |
精度 | ±0.75%Rd或±0.1%FS 取大值 |
高精度 | ±0.6%Rd或±0.1%FS 取大值 |
重復(fù)性 | ±(0.2%Rd+0.02%FS) |
量程比 | 200:1(0.5-) |
其他 | |
電氣連接
針腳/顏色 | 定義 |
1針(黑色) | 4-20MA輸出信號(hào)，如選擇0-5V/10V 連接6針 |
2針(棕色) | 不用連接,如選第二路 輸出信號(hào)可接 |
3針(紅色) | RS232 輸入串口RS232 輸入串口 |
4針(橘色) | 模擬設(shè)定信號(hào)(訂貨時(shí)確認(rèn)信號(hào)類(lèi)型) |
5針(黃色) | RS232 輸出串口 |
6針(綠色) | 0-5V或0-10V輸出信號(hào) |
7針(藍(lán)色) | +24VDC供電 |
8針(紫色) | 接地(同時(shí)作用于電源、通訊、模擬) |
備注：以上是標(biāo)配圓新8芯接線注解，其他接口
壓損、管路接口
流量 | 壓損(PSID),排放大氣中 | 接口 |
0.5-2SCCM | 0.06 |
1/8NPT母螺紋 |
5-10SCCM | 0.08 | |
20SCCM | 0.07 | |
50-200SCCM | 0.07 | |
500SCCM | 0.08 | |
1SLPM | 0.10 | |
2SLPM | 0.18 | |
5SLPM | 0.10 |
1/4NPT母螺紋 |
10SLPM | 0.12 | |
20SLPM | 0.26 | |
40SLPM | 0.14 | 1/2NPT母螺紋 |
50SLPM | 0.17 |
3/4NPT母螺紋 |
100SLPM | 0.30 | |
250SLPM | 0.69 | |
500SLPM | 0.69 | |
1000SLPM | 1.65 | 2"NPT母螺紋 |
使用注意
一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用，保證氣體的干凈《不能進(jìn)水/油、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。
二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能?chē)娫趦x表或電氣插頭上。
三：在使用質(zhì)量流量控制器的時(shí)候，進(jìn)口前方加“ON/OFF電磁閥或手動(dòng)切斷閥"。
四：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。
五：通氣體時(shí)，請(qǐng)先開(kāi)氣源，后設(shè)定值。
六：切勿在沒(méi)有通氣的情況下，對(duì)流量控制器進(jìn)行設(shè)定。
七：使用完以后，請(qǐng)將流量控制器值歸零或斷電。
八：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài) 再操作。
九：低壓損系列，進(jìn)口壓力3Bar
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