詳細(xì)介紹
BRENDA多功能配氣儀 | ||||
型號(hào) | BR-2C | BR-3C | BR-4C | |
控制方式 | 內(nèi)部集成 質(zhì)量流量控制器 | |||
精度 | ±1.0%RD | |||
MFC響應(yīng)速度 | 全量程1秒以內(nèi) | |||
使用氣體 | 常規(guī)非腐蝕氣體、以及腐蝕氣體(單獨(dú)說明) | |||
流量范圍 | 每個(gè)分路3SCCM-50SLM,混合后總流量100SLM以下 | |||
耐壓 | 0.8Mpa | |||
管路接口 | RC1/4 | |||
使用溫度/濕度 | 5-50℃、10-80%RH | |||
尺寸(MM) | 380*390*330 | 480*390*330 | ||
設(shè)備重量 | 30KG | 37KG | 40kg | |
消耗電力KW | 0.1kw | |||
電壓 | AC100-240V,50-60HZ |
觸摸屏界面1:
觸摸屏界面2: