PC-601系列

半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過(guò)濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開(kāi)發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。

適合HBr，HCl等鹵素系列反應(yīng)性，腐蝕性特殊氣體使用，氣體接觸部分采用哈司特鎳合金，腐蝕性特殊氣體的壓力傳感器

半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過(guò)濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開(kāi)發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。

● 高耐腐蝕性
對(duì)應(yīng)HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進(jìn)行了電解研磨處理，充分發(fā)揮了其 出色的耐腐蝕性能力。

● 高精度、高可靠性
直線性、滯后性、重復(fù)精度的影響造成和擬合線的*偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。

● 測(cè)定范圍寬
表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm2）到20,684KPa（210KGf/cm2），壓的壓力范圍為0～2,586torr。

● 使用壽命長(zhǎng)
各測(cè)量范圍都通過(guò)了100萬(wàn)次的循環(huán)耐久測(cè)試。

規(guī)格：

※所有的表壓類(lèi)型可以連成。