金屬濾芯RGF系列

● 過(guò)濾精度范圍寬可以對(duì)應(yīng)固定或脈沖方式下的0.1～10μm過(guò)濾精度?！?高耐腐蝕性過(guò)濾器沒(méi)有采用腐蝕性材料，不用擔(dān)心被腐蝕或者生成中間產(chǎn)物。● 排氣特性和的烘烤加熱器并用，APIMS方式測(cè)定的排氣（水分量）能夠達(dá)到1.2ppb。繼續(xù)使用可以達(dá)到0.1ppb的水平。過(guò)濾器內(nèi)部的雜質(zhì)預(yù)先采用特殊洗凈方式去除，排氣性能更加出色。

管狀部件　過(guò)濾精度0.1～10μm　*流量40～60L/min

● 過(guò)濾精度范圍寬
可以對(duì)應(yīng)固定或脈沖方式下的0.1～10μm過(guò)濾精度。

● 高耐腐蝕性
過(guò)濾器沒(méi)有采用腐蝕性材料，不用擔(dān)心被腐蝕或者生成中間產(chǎn)物。

● 排氣特性
和的烘烤加熱器并用，APIMS方式測(cè)定的排氣（水分量）能夠達(dá)到1.2ppb。繼續(xù)使用可以達(dá)到0.1ppb的水平。過(guò)濾器內(nèi)部的雜質(zhì)預(yù)先采用特殊洗凈方式去除，排氣性能更加出色。

規(guī)格：