金屬濾芯UCD系列

● 過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物，同時(shí)具備較高的耐熱性能?！?使用氮?dú)猓∟2）輸入，當(dāng)過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時(shí)，輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa?！?固定或脈動(dòng)方式下過濾精度經(jīng)CNC確認(rèn)達(dá)到0.003μm，實(shí)現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

圓盤狀部件過濾精度0.003μm　*流量10～100L/min

● 過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物，同時(shí)具備較高的耐熱性能。

● 使用氮?dú)猓∟2）輸入，當(dāng)過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時(shí)，輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。

● 固定或脈動(dòng)方式下過濾精度經(jīng)CNC確認(rèn)達(dá)到0.003μm，實(shí)現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

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