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詳細(xì)介紹
一、儀器用途
YCJ-6R型TFT-LCD液晶檢測(cè)DIC顯微鏡為遠(yuǎn)仞檢型FPD檢查顯微鏡，專為L(zhǎng)CD行業(yè) / TFT玻璃 / COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查。
微分干涉物鏡，從低倍到高倍,都能得到清晰平坦的微分干涉顯微圖像。使用人員只需在正交偏光的基礎(chǔ)上，插入DIC棱鏡，即可進(jìn)行明視場(chǎng)DIC微分干涉觀察。使用DIC技術(shù)，可以讓物體表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，的提高圖像的對(duì)比度。同時(shí)也可以在不用更換暗場(chǎng)物鏡的情況下實(shí)現(xiàn)暗場(chǎng)觀察，操作既方便也節(jié)省另外購(gòu)置暗場(chǎng)物鏡的成本。
二、儀器特點(diǎn)
1）YCJ-6R型TFT-LCD液晶檢測(cè)DIC顯微鏡，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美
2）YCJ-6R型TFT-LCD液晶檢測(cè)DIC顯微鏡機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長(zhǎng)壽命LED光源
3）多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗(yàn)需要，可用于明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察
4）全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距專業(yè)金相物鏡，高倍物鏡采用半復(fù)消技術(shù)。
5）各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對(duì)比度的顯微圖像。
6）可以實(shí)現(xiàn)X、Y方向105mmx105mm的移動(dòng)范圍。
6）YCJ-6R型TFT-LCD液晶檢測(cè)DIC顯微鏡采用4寸、6寸平臺(tái)設(shè)計(jì)，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查
三、技術(shù)參數(shù)
配 置 | 參 數(shù) |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
觀察方法 | 明場(chǎng) / 斜照明 / 偏振光 / DIC |
觀 察 筒 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺?，分光比，雙目：三目=100：0或50：50 |
目 鏡 | PL10X/22平場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡 |
轉(zhuǎn) 換 器 | 5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
物 鏡 | 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡 5X DIC LMPL5X/0.15 WD10.8mm |
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡 10X DIC LMPL10X/0.30 WD10mm | |
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡 20X DIC LMPL20X/0.45 WD4mm | |
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡 50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm | |
無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡 100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm (選購(gòu)） | |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 |
載 物 臺(tái) | 4寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，行程105X105mm，帶金屬平板平臺(tái)，右手位X、Y移動(dòng)手輪 6寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，行程158X158mm，玻璃工作臺(tái)，右手位X、Y移動(dòng)手輪，帶離合器手柄，可快速移動(dòng)（選配）另可選配：8寸移動(dòng)平臺(tái) |
照明系統(tǒng) | 反射：帶可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿；單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)； 透射：?jiǎn)晤w大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)；帶可變孔徑光闌 |
偏光附件 | 檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 |
CTV接口 | 1X、1/2X |
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