OTF-1200X-50-PE-S 小型PECVD管式爐系統(tǒng)

開啟式管式爐

• 輸入電源：208 – 240V AC, 1.2kW
• 工作溫度1200℃（小于1小時）
• 連續(xù)使用溫度1100℃
• 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，并且表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層，可延長儀器使用壽命和提高加熱效率
• 高純石英爐管，尺寸為 50mmOD x 44mmID x 780mmL
• 可設(shè)置30段升降溫程序，并帶有過熱和斷偶保護
• 加熱區(qū)長度為200mm,恒溫區(qū)長度為60mm(+/-1°C)
  
  

等離子體射頻電源

• 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
• 穩(wěn)定性為+/-1%
• 射頻電源頻13.56 MHZ, 穩(wěn)定性±0.005%
• 反向功率: 200W max
• 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體, 陰極
• 噪聲<50 dB.
• 冷卻方式：空氣冷卻
• 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz
  

真空法蘭和接頭

• 真空法蘭采用304不銹鋼制作
• 左端法蘭上安裝有防腐型數(shù)字真空計、不銹鋼針閥和一個球閥。
• 右端法蘭設(shè)計為KF25接口，上面配有泄氣閥，擋板閥和兩個KF25卡箍
• 儀器中所配的數(shù)字真空計，可以不用因使用氣體的不同而進行校正，同時還具有防腐功能
  
  

真空泵

• AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W
• 2L/s
• 與本公司管式爐配套使用，可使其真空度達到10-2 torr
• 進氣端帶有儲氣球（防止回油），出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴散到空氣中，保護環(huán)境和人體健康）
  
  

產(chǎn)品尺寸和重量

外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

凈重: 160 lbs

可選配置

• 防腐型小型三路浮子混氣系統(tǒng)
• 精密氣液混合系統(tǒng)
• 三路質(zhì)子混氣系統(tǒng)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

質(zhì)量認證

CE Certified