OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL 滑動式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品優(yōu)點

• 與傳統(tǒng)的CVD相比，只需較低的制備溫度
• .滑軌式可快速加熱和快速冷卻
• 兩個加熱區(qū)，溫度梯度可達(dá) 200ºC
• 工作溫度1100°C
• 提供一個寬范圍的材料制備 ，如碳和 ZnO 納米管或納米線以及單層石墨烯。
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

等離子發(fā)射源

• 輸出功率: 5 -500W ± 1% .
• 射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% .
• 反射功率: 200W
• 匹配: 自動
• 射頻接口: 50 Ω, N-type
• 噪音: <50 dB.
• 冷卻: 風(fēng)冷.
• 電源: AC 208-240V, 50/60Hz

無油真空泵機(jī)組

• Pfeiffer（德國）高速( 226L/min) 無油干泵, 極限真空10E-3 Torr L
• KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連.
• 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
• 數(shù)字真空計 ( 美國) 安裝在左法蘭上.
• 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
  
  

質(zhì)量流量計

四個精密的質(zhì)量流量計(精度0.02% ) ：數(shù)字顯示，自動控制.

• MFC 1范圍: 0~100 sccm
• MFC 2和3: 0~200 sccm
• MFC 4范圍: 0~500 sccm
• 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口.
• 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體.
• 進(jìn)氣口: 4個1/4NPS.
• 出氣口: 4個 1/4NPS.

控溫軟件

• 計算機(jī)可以通過控溫軟件控制爐子：RS485 接口和軟件是免費的，但需要購買數(shù)據(jù)線和一個控制模塊
• 為了獲得較大的升溫速度, 必須預(yù)熱到設(shè)定溫度，然后將爐子滑到樣品位置。
• 為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區(qū)滑到冷區(qū).

水循環(huán)冷卻器

• 水冷法蘭要求：水流量 >= 10L/M .
• 可以用自來水進(jìn)行水冷,為了節(jié)約水資源，我們建議使用水循環(huán)冷卻器。

總尺寸

• 爐體: 550 x 380 x 520 mm
• 滑軌: 1750 mm 長
• 移動架: 1200 x 1200 x 600mm.
• 凈重: 220 Lbs.
• 運輸重量: 500lbs.

質(zhì)保期和認(rèn)證

一年質(zhì)保期 (耗材部分：如爐管，“O”型高溫密封圈，加熱元件等不在保修范圍）

CE 認(rèn)證