OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL 是一款滑動式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動式雙溫區(qū)管式爐, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和無油機(jī)械泵機(jī)組,這款 PECVD系統(tǒng)可用于生長納米或石墨烯。
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)品優(yōu)點 | - 與傳統(tǒng)的CVD相比,只需較低的制備溫度
- .滑軌式可快速加熱和快速冷卻
- 兩個加熱區(qū),溫度梯度可達(dá) 200ºC
- 工作溫度1100°C
- 提供一個寬范圍的材料制備 ,如碳和 ZnO 納米管或納米線以及單層石墨烯。
- 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
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等離子發(fā)射源 | - 輸出功率: 5 -500W ± 1% .
- 射頻頻率: 13.56 MHz ±0.005% .
- 反射功率: 200W
- 匹配: 自動
- 射頻接口: 50 Ω, N-type
- 噪音: <50 dB.
- 冷卻: 風(fēng)冷.
- 電源: AC 208-240V, 50/60Hz
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無油真空泵機(jī)組 | - Pfeiffer(德國)高速( 226L/min) 無油干泵, 極限真空10E-3 Torr L
- KFD25 快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連.
- 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr
- 數(shù)字真空計 ( 美國) 安裝在左法蘭上.
- 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
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質(zhì)量流量計 | 四個精密的質(zhì)量流量計(精度0.02% ) :數(shù)字顯示,自動控制. - MFC 1范圍: 0~100 sccm
- MFC 2和3: 0~200 sccm
- MFC 4范圍: 0~500 sccm
- 一個混氣罐,底部裝有泄廢液口.
- 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動控制4種氣體.
- 進(jìn)氣口: 4個1/4NPS.
- 出氣口: 4個 1/4NPS.
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控溫軟件 | - 計算機(jī)可以通過控溫軟件控制爐子:RS485 接口和軟件是免費的,但需要購買數(shù)據(jù)線和一個控制模塊
- 為了獲得較大的升溫速度, 必須預(yù)熱到設(shè)定溫度,然后將爐子滑到樣品位置。
- 為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區(qū)滑到冷區(qū).
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水循環(huán)冷卻器 | - 水冷法蘭要求:水流量 >= 10L/M .
- 可以用自來水進(jìn)行水冷,為了節(jié)約水資源,我們建議使用水循環(huán)冷卻器。
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總尺寸 | - 爐體: 550 x 380 x 520 mm
- 滑軌: 1750 mm 長
- 移動架: 1200 x 1200 x 600mm.
- 凈重: 220 Lbs.
- 運輸重量: 500lbs.
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質(zhì)保期和認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期 (耗材部分:如爐管,“O”型高溫密封圈,加熱元件等不在保修范圍) CE 認(rèn)證 |