OTF-1200X-HVC 1200°C三溫區(qū)二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

OTF-1200X-III 管式爐

殼體結(jié)構(gòu)

• 采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使其爐體表面溫度都小于55℃
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命

爐管材料

采用高純石英爐管

功率

2.5KW

輸入電源

AC 208-240V 單相, 50/60Hz

加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo，（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，的延長加熱元件的使用壽命）

工作溫度

加熱溫度.: 1200°C
連續(xù)工作溫度: 1100°C

升溫速率

1~20°C/min 可編程

加熱區(qū)長度

總加熱區(qū)長度: 880mm (220mm + 440mm + 220mm)

三個(gè)溫區(qū)

溫度控制

• PID30段可編程程序化控制
• 控溫精確度±1°C
• 熱電偶: 三個(gè)K 型熱電偶 （已安裝在爐體內(nèi)）

真空法蘭

• 一對不銹鋼法蘭已經(jīng)安裝
• 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表
• 兩個(gè)精密針閥
• KF40的抽氣接口

輸入電源

AC 208-240V 電源, 50/60Hz

外型尺寸

1100(L) x 450(W) x 670(H), mm

高真空機(jī)組

殼體

• 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
• 承載量: 600 Lbs on top
• 分子泵顯示屏 : LCD 數(shù)字顯示
• 內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany

抽氣速率

• N2 33 L/s
• He 39 L/s (2340L/minute)
• H2 32 L/s

工作范圍

1000 mbar 到 <1E-7 mbar

極限

<1E-8 mbar

質(zhì)量流量控制器

殼體

• 采用316不銹鋼
• 混氣箱尺寸Φ80X120mm
• 外型尺寸 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

功率

18W

工作電源

AC 208-240V, 單相 50/60Hz