OTF-1200X-HVC 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

OTF-1200X系列 管式爐

殼體結(jié)構(gòu)

• 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷.使得殼體表面的溫度小于60度
• 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

爐管

• 材質(zhì): 高純石英管
• 石英管包含在內(nèi).
• 可以選擇其他管徑

功率

2.5KW

工作電壓

AC 208-240V 單相, 50/60Hz

加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo，（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，的延長(zhǎng)加熱元件的使用壽命）

工作溫度

• 工作溫度.: 1200°C
• 連續(xù)工作溫度: 1100°C

加熱速率

加熱速率: 1~20°C/min 可編程

加熱區(qū)長(zhǎng)度

• 總加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
• 恒溫區(qū)長(zhǎng)度. : 150mm (±1°C)

控溫系統(tǒng)

• PID自動(dòng)控制方式，可設(shè)置30段升降溫程序
• 控溫精度: ±1°C
• 熱電偶: K 型已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

真空密封

• 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭，已經(jīng)安裝
• 法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表
• 一對(duì)精密針閥
• KF-40 的抽氣接口

功率

100~110W

工作電壓

AC 208-240V , 50/60Hz

高真空機(jī)組

殼體

• 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
• 承載量: 600 Lbs on topf:
• 分子泵顯示屏： LCD 數(shù)字顯示
• 內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:

抽氣速率

• N2 33 L/s
• He 39 L/s (2340L/minute)
• H2 32 L/s

工作范圍

1000 mbar to <1E-7 mbar

極限

<1E-8 mbar (無(wú)泄漏)

質(zhì)量流量控制器

殼體

• 采用 316不銹鋼制作
• 混氣箱尺寸: Φ80X120mm
• 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

功率

18W

工作電源

AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管密封圈加熱元件等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

CE Certificate